Електростатичка стезна глава Е-Цхуцк

Семицорек Елецтростатиц Цхуцк Е-Цхуцк ради на принципима електростатичке привлачности, нудећи поуздано и прецизно задржавање плочица без потребе за механичким стезаљкама или вакуумским усисом, посебно се користи у јеткању, јонском импл.

антација, ПВД, ЦВД итд. обрада полупроводника. Његове прилагодљиве димензије чине га прилагодљивим широком спектру апликација, што га чини идеалним избором за компаније које траже флексибилност и ефикасност у процесима производње полупроводника.

Основна технологија која стоји иза Ј-Р типа Елецтростатиц Цхуцк Е-Цхуцк је његова способност да генерише електростатичку силу између плочице и површине стезне главе. Ова сила се ствара применом високог напона на електроде уграђене у стезну главу, која индукује наелектрисање и на плочици и на стезној глави, стварајући тако јаку електростатичку везу. Овај механизам не само да безбедно држи плочицу на месту, већ и минимизира физички контакт између плочице и стезне главе, смањујући потенцијалну контаминацију или механички стрес који би могао да оштети осетљиве полупроводничке материјале.

Семицорек може произвести производе по мери, од 200 мм до 300 мм или чак и веће, у зависности од захтева купаца. Нудећи ове прилагодљиве опције, Ј-Р тип ЕСЦ пружа максималну флексибилност за низ полупроводничких процеса, укључујући нагризање плазмом, хемијско таложење паре (ЦВД), физичко таложење паре (ПВД) и имплантацију јона.

Што се тиче материјала, електростатичка стезна глава је направљена од висококвалитетних керамичких материјала, као што су глиница (Ал2О3) или алуминијум нитрид (АлН), који су познати по својим одличним диелектричним својствима, механичкој чврстоћи и термичкој стабилности. Ова керамика обезбеђује стезној глави неопходну издржљивост да издржи тешке услове производње полупроводника, као што су високе температуре, корозивна окружења и излагање плазми. Поред тога, керамичка површина је полирана до високог степена глаткоће како би се обезбедио уједначен контакт са плочицом, повећавајући електростатичку силу и побољшавајући укупне перформансе процеса.

Електростатичка стезна глава Е-Цхуцк је такође дизајнирана да се носи са топлотним изазовима који се обично срећу у производњи полупроводника. Управљање температуром је критично током процеса као што су нагризање или таложење, где температура плочице може брзо да варира. Керамички материјали који се користе у стезној глави пружају одличну топлотну проводљивост, помажући да се топлота ефикасно распрши и одржава стабилна температура плочице.

Електростатичка стезна глава Е-Цхуцк је дизајнирана са нагласком на минимизирању контаминације честицама, што је критично у производњи полупроводника где чак и микроскопске честице могу довести до дефеката у финалном производу. Глатка керамичка површина стезне главе смањује вероватноћу адхезије честица, а смањени физички контакт између плочице и стезне главе, захваљујући електростатичком механизму за држање, додатно смањује ризик од контаминације. Неки модели Ј-Р типа ЕСЦ такође садрже напредне површинске премазе или третмане који одбијају честице и отпорни су на корозију, повећавајући дуговечност и поузданост стезне главе у окружењу чистих соба.

Укратко, Ј-Р тип Елецтростатиц Цхуцк Е-Цхуцк је свестрано и поуздано решење за држање плочица које нуди изузетне перформансе у широком спектру процеса производње полупроводника. Његов прилагодљив дизајн, напредна електростатичка технологија држања и робусна својства материјала чине га идеалним избором за компаније које желе да оптимизују руковање плочицама уз одржавање највиших стандарда чистоће и прецизности. Без обзира да ли се користи у плазма нагризању, таложењу или јонској имплантацији, Ј-Р тип ЕСЦ пружа флексибилност, издржљивост и ефикасност потребне да задовољи захтевне потребе данашње индустрије полупроводника. Са својом способношћу да ради у Цоуломб и Јохнсен-Рахбек режимима, поднесе високе температуре и да се одупре контаминацији честицама, Ј-Р тип ЕСЦ представља критичну компоненту у потрази за већим приносима и побољшаним резултатима процеса.