Алн гријачи

Семицорек алн грејери за полуводич је уређај који се користи за грејање полуводичких материјала. Углавном је направљен одАлуминијум нитридни керамикаМатеријал, има одличну топлотну проводљивост и отпорност на високу температуру и може да делује на високим температурама. Гријач обично користи жицу отпора као грејни елемент. Поништавањем жице отпорности на загревање, топлота се преноси на површину грејача за постизање грејања полуводичког материјала. Алн Грејачи за полуводичу играју важну улогу у процесу производње полуводича и могу се користити у процесима као што су раст кристала, жарења и печење.

У предњем процесу (фелолу) полуводичка производња, на лиферу се морају извести различити третмани процеса, посебно загревати резину на одређену температуру, а постоје строги захтеви, јер уједначеност температуре има веома важан утицај на принос производа; Истовремено, полуводичка опрема такође мора да ради у окружењу у којем постоје вакуум, плазми и хемијски гасови који захтевају употребу керамичких грејача (керамички грејач). Керамички грејачи су важне компоненте опреме за танкој танкој танкој танке. Користе се у процесној комори и директно се обратите резину да носе и омогућавају резину да прибави стабилну и јединствену температуру процеса и реагује и стварање танких филмова на површини резе са високом прецизношћу.

Танка опрема за депоновање филма за керамичке грејаче углавном користи керамичке материјале на основуАлуминијум нитрид (Алн)због високих температура. Алуминијум нитрид има електричну изолацију и одличну топлотну проводљивост; Поред тога, његов коефицијент топлотне експанзије је близу оног силикона, а има одличну отпорност у плазми, што га чини врло погодним за употребу као компонента полуводича.

Алн гријачи укључују керамичку базу која носи вафли и цилиндрично тело за подршку која је подржава на леђима. Унутар или на површини керамичке базе, поред елемента отпора (грејни слој) за грејање, постоји и РФ електрода (РФ слој). Да би се постигло брзо грејање и хлађење, дебљина керамичке базе треба да буде танка, али превише танка ће такође смањити чврстину. Тело подршке Алн Грејачи је генерално направљен од материјала са коефицијентом топлотног експанзије сличан ономе базе, тако да је тело подршке често такође направљено од алуминијум нитрида. Алн гријачи усвоје јединствену структуру зглоба (осовине) за заштиту терминала и жица од ефеката плазме и корозивне хемијске гасове. У органу подршке пружа се у основну температуру грејача преношење топлоте. База и тело за подршку хемијски су везани са лепљивим слојем.

Елемент грејања отпора је сахрањен у бази грејача. Формира се екранском штампањем са проводљивим пасте (волфрам, молибден или танталум) да би се формирала спирални или концентрични образац круга круга. Наравно, метална жица, метална мрежа, метална фолија итд. Такође се могу користити. Када користите методу штампања екрана, припремљене су две керамичке плоче истог облика, а проводљива паста се наноси на површину једног од њих. Затим је синтерован да формира отпоран грејни елемент, а друга керамичка плоча се преклапају са отпорним грејним елементом како би се основао елемент отпорника укопан у базу.

Главни фактори који утичу на топлотну проводљивост керамике алуминијума нитрида су густина решетке, садржаја кисеоника, чистоће прашка, микроструктуре итд., Која ће утицати на топлотну проводљивост керамике алуминијум нитрида.