Савршене за литографију следеће генерације и апликације за руковање плочицама, Семицорек ултра чисте керамичке компоненте обезбеђују минималну контаминацију и пружају изузетно дуг радни век. Наша вакуумска глава за вафле има добру предност у цени и покрива многа европска и америчка тржишта. Радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер у Кини.
Семицорек ултра равна керамичка вакуумска стезна глава је високе чистоће пресвучена СиЦ која се користи у процесу руковања плочицама. Вакумска глава полупроводничке плочице од МОЦВД опреме Раст једињења има високу отпорност на топлоту и корозију, која има велику стабилност у екстремним условима и побољшава управљање приносом за обраду полупроводничких плочица. Конфигурације са малом површином контакта минимизирају ризик од честица са задње стране за осетљиве апликације.
У компанији Семицорек, ми се фокусирамо на обезбеђивање висококвалитетних, исплативих усисних глава за вафле, дајемо приоритет задовољству купаца и пружамо исплатива решења. Радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер, испоручујући производе високог квалитета и изузетну услугу за кориснике.
Параметри вакуумске стезне главе
Главне спецификације ЦВД-СИЦ премаза |
||
СиЦ-ЦВД особине |
||
Цристал Струцтуре |
ФЦЦ β фаза |
|
Густина |
г/цм ³ |
3.21 |
Тврдоћа |
Викерсова тврдоћа |
2500 |
Величина зрна |
μм |
2~10 |
Хемијска чистоћа |
% |
99.99995 |
Хеат Цапацити |
Ј кг-1 К-1 |
640 |
Сублиматион Температуре |
℃ |
2700 |
Фелекурал Стренгтх |
МПа (РТ 4 тачке) |
415 |
Јангов модул |
Гпа (4пт савијање, 1300℃) |
430 |
Термичка експанзија (Ц.Т.Е) |
10-6К-1 |
4.5 |
Топлотна проводљивост |
(В/мК) |
300 |
Карактеристике вакуумске стезне главе
● Ултра-равне могућности
● Полирање огледала
● Изузетно мала тежина
● Висока крутост
● Ниска топлотна експанзија
● Φ пречника 300 мм и више
● Екстремна отпорност на хабање