Семицорек је ваш партнер за напредне графитне компоненте и склопове који подржавају већу пропусност и боље приносе у вашој опреми за обраду полупроводника. Наши стручњаци за материјале су спремни да раде са вама на развоју оптималног правог решења за ваше захтеве за руковање плочицама, загревање и обраду. Наш керамички крајњи ефекат има добру предност у цени и покрива многа европска и америчка тржишта. Радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер у Кини.
Керамички крајњи ефектор је рука робота која помера полупроводничке плочице између позиција у опреми за обраду плочица и носача. Крајњи ефектор мора бити димензионо прецизан и термички стабилан, док има глатку површину отпорну на хабање да би безбедно руковао плочицама без оштећења уређаја или стварања контаминације честицама. Наш керамички крајњи ефектор високе чистоће од силицијум карбида обезбеђује врхунску отпорност на топлоту, чак и термичку униформност за конзистентну дебљину и отпорност епи слоја, као и издржљиву хемијску отпорност.
У Семицорек-у се фокусирамо на обезбеђивање висококвалитетног, исплативог керамичког крајњег ефекта, дајемо приоритет задовољству купаца и пружамо исплатива решења. Радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер, испоручујући производе високог квалитета и изузетну услугу за кориснике.
Параметри керамичког крајњег ефектора
Главне спецификације ЦВД-СИЦ премаза |
||
СиЦ-ЦВД својства |
||
Кристална структура |
ФЦЦ И² фаза |
|
Густина |
г/цм ³ |
3.21 |
Тврдоћа |
Викерсова тврдоћа |
2500 |
Величине зрна |
И¼м |
2~10 |
Хемијска чистоћа |
% |
99.99995 |
Топлотни капацитет |
Ј·кг-1 ·К-1 |
640 |
Температура сублимације |
℃ |
2700 |
Фелекурал Стренгтх |
МПа (РТ 4 тачке) |
415 |
Иоунг'с Модулус |
Гпа (4пт савијање, 1300а) |
430 |
Термичка експанзија (Ц.Т.Е) |
10-6К-1 |
4.5 |
Топлотна проводљивост |
(В/мК) |
300 |
Карактеристике керамичког крајњег ефектора високе чистоће
а Графит високе чистоће обложен СиЦ
а Супериорна отпорност на топлоту и термичка униформност
а Фини СиЦ кристал обложен за глатку површину
а Висока издржљивост против хемијског чишћења
а Материјал је дизајниран тако да не дође до пукотина и деламинације.