Семицорек је ваш партнер за напредне графитне компоненте и склопове који подржавају већу пропусност и боље приносе у вашој опреми за обраду полупроводника. Наши стручњаци за материјале су спремни да раде са вама на развоју оптималног правог решења за ваше захтеве за руковање плочицама, загревање и обраду. Наш керамички крајњи ефекат има добру предност у цени и покрива многа европска и америчка тржишта. Радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер у Кини.
Керамички крајњи ефектор је рука робота која помера полупроводничке плочице између позиција у опреми за обраду плочица и носача. Крајњи ефектор мора бити димензионо прецизан и термички стабилан, док има глатку површину отпорну на хабање за безбедно руковање плочицама без оштећења уређаја или стварања контаминације честицама. Наш керамички крајњи ефектор високе чистоће од силицијум карбида обезбеђује врхунску отпорност на топлоту, чак и топлотну униформност за конзистентну дебљину и отпорност епи слоја, као и издржљиву хемијску отпорност.
У Семицорек-у се фокусирамо на обезбеђивање висококвалитетног, исплативог керамичког крајњег ефекта, приоритет дајемо задовољству купаца и пружамо исплатива решења. Радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер, испоручујући производе високог квалитета и изузетну услугу за кориснике.
Параметри керамичког крајњег ефекта
Главне спецификације ЦВД-СИЦ премаза |
||
СиЦ-ЦВД особине |
||
Цристал Струцтуре |
ФЦЦ β фаза |
|
Густина |
г/цм ³ |
3.21 |
Тврдоћа |
Викерсова тврдоћа |
2500 |
Величина зрна |
μм |
2~10 |
Хемијска чистоћа |
% |
99.99995 |
Топлотни капацитет |
Ј кг-1 К-1 |
640 |
Сублиматион Температуре |
℃ |
2700 |
Фелекурал Стренгтх |
МПа (РТ 4 тачке) |
415 |
Јангов модул |
Гпа (4пт савијање, 1300℃) |
430 |
Термичка експанзија (Ц.Т.Е) |
10-6К-1 |
4.5 |
Топлотна проводљивост |
(В/мК) |
300 |
Карактеристике керамичког крајњег ефекта високе чистоће
● Графит обложен СиЦ-ом високе чистоће
● Супериорна отпорност на топлоту и термичка униформност
● Фини СиЦ кристал обложен за глатку површину
● Висока отпорност на хемијско чишћење
● Материјал је дизајниран тако да не дође до пукотина и раслојавања.