Поклопац коморе од силицијум карбида

Поклопац коморе од силицијум карбида који се користи у процесу раста кристала и обраде плочица мора да издржи високе температуре и грубо хемијско чишћење. Семицорек је велики произвођач и добављач графитних сусцептора обложених силицијум карбидом у Кини. Наши производи имају добру предност у цени и покривају многа европска и америчка тржишта. Радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер.

Пошаљи упит

Опис производа

Поклопац коморе од силицијум-карбида који се користи у процесу раста монокристала или МОЦВД-а, или обраде плочица мора да издржи високе температуре и грубо хемијско чишћење. Семицорек испоручује графитну конструкцију обложену силицијум карбидом (СиЦ) високе чистоће која обезбеђује супериорну отпорност на топлоту, чак и топлотну униформност за конзистентну дебљину епи слоја и отпорност, и трајну хемијску отпорност. Они су издржљиви да искусе комбинацију испарљивих гасова прекурсора, плазме и високе температуре.
Наш поклопац коморе од силицијум карбида је дизајниран да постигне најбољи ламинарни образац струјања гаса, обезбеђујући равномерност термичког профила. Ово помаже у спречавању било какве контаминације или дифузије нечистоћа, обезбеђујући висококвалитетан епитаксијални раст на чипу плочице.
Контактирајте нас данас да бисте сазнали више о нашем поклопцу коморе од силицијум карбида.

Параметри поклопца коморе од силицијум карбида

Главне спецификације ЦВД-СИЦ премаза
СиЦ-ЦВД својства
Кристална структура	ФЦЦ И² фаза
Густина	г/цм ³	3.21
Тврдоћа	Викерсова тврдоћа	2500
Величине зрна	И¼м	2~10
Хемијска чистоћа	%	99.99995
Топлотни капацитет	Ј·кг-1 ·К-1	640
Температура сублимације	℃	2700
Фелекурал Стренгтх	МПа (РТ 4 тачке)	415
Иоунг'с Модулус	Гпа (4пт савијање, 1300а)	430
Термичка експанзија (Ц.Т.Е)	10-6К-1	4.5
Топлотна проводљивост	(В/мК)	300