Поклопац МОЦВД вакуум коморе који се користи у процесу раста кристала и обраде плочица мора да издржи високе температуре и грубо хемијско чишћење. Поклопац за вакуумску комору МОЦВД обложен Семицорек-ом силицијум-карбидом, посебно пројектован да издржи ова изазовна окружења. Наши производи имају добру предност у цени и покривају многа европска и америчка тржишта. Радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер у Кини.
Семицорек Грапхите компоненте су графит високе чистоће обложен СиЦ, који се користи у процесу за узгој монокристала и процеса плочице. МОЦВД Вацуум Цхамбер Лид Цомпоунд расте има високу отпорност на топлоту и корозију, издржљив је да искуси комбинацију испарљивих гасова прекурсора, плазме и високе температуре.
У компанији Семицорек, ми смо посвећени пружању висококвалитетних производа и услуга нашим клијентима. Користимо само најбоље материјале, а наши производи су дизајнирани да задовоље највише стандарде квалитета и перформанси. Наш МОЦВД поклопац вакуумске коморе није изузетак. Контактирајте нас данас да бисте сазнали више о томе како вам можемо помоћи са вашим потребама обраде полупроводничких плочица.
Параметри МОЦВД поклопца вакуумске коморе
Главне спецификације ЦВД-СИЦ премаза |
||
СиЦ-ЦВД особине |
||
Цристал Струцтуре |
ФЦЦ β фаза |
|
Густина |
г/цм ³ |
3.21 |
Тврдоћа |
Викерсова тврдоћа |
2500 |
Величина зрна |
μм |
2~10 |
Хемијска чистоћа |
% |
99.99995 |
Хеат Цапацити |
Ј кг-1 К-1 |
640 |
Сублиматион Температуре |
℃ |
2700 |
Фелекурал Стренгтх |
МПа (РТ 4 тачке) |
415 |
Јангов модул |
Гпа (4пт савијање, 1300℃) |
430 |
Термичка експанзија (Ц.Т.Е) |
10-6К-1 |
4.5 |
Топлотна проводљивост |
(В/мК) |
300 |
Карактеристике МОЦВД поклопца вакуумске коморе
● Ултра-равне могућности
● Полирање огледала
● Изузетно мала тежина
● Висока крутост
● Ниска топлотна експанзија
● Екстремна отпорност на хабање