Ваферски чамац за полупроводничке процесе

Семицорек нуди чамце за плочице, постоља и прилагођене носаче плочица за вертикалне/стубне и хоризонталне конфигурације. Већ дуги низ година смо произвођач и добављач филма за облагање од силицијум карбида. Наш чамац за полупроводничке процесе има добру предност у цени и покрива већину европских и америчких тржишта. Радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер у Кини.

Пошаљи упит

Опис производа

Семицорек СиЦ Вафер Боат за процес полупроводника, врхунско решење за руковање плочицама и заштиту у производњи полупроводника. Наш чамац за полупроводнике направљен је од висококвалитетног силицијум карбида, који има добру отпорност на корозију и одличну отпорност на високе температуре и термички удар. Напредна керамика пружа одличну термичку отпорност и издржљивост плазме, а истовремено ублажава честице и загађиваче за носаче вафла великог капацитета.

Параметри чамца за полупроводнике

Тецхницал Пропертиес
Индекс	Јединица	Валуе
Назив материјала		Реакционо синтеровани силицијум карбид	Синтеровани силицијум карбид без притиска	Рекристализовани силицијум карбид
Композиција		РБСиЦ	ССиЦ	Р-СиЦ
Спец.густина	г/цм3	3	3,15 ± 0,03	2.60-2.70
Отпорност на савијање	МПа (кпси)	338(49)	380(55)	80-90 (20°Ц) 90-100 (1400°Ц)
Јачина притиска	МПа (кпси)	1120(158)	3970(560)	> 600
Тврдоћа	Кнооп	2700	2800	/
Бреакинг Тенацити	МПа м1/2	4.5	4	/
Топлотна проводљивост	В/м.к	95	120	23
Коефицијент термичког ширења	10^-6.1/°Ц	5	4	4.7
Специфична топлота	џул/г 0к	0.8	0.67	/
Максимална температура у ваздуху	℃	1200	1500	1600
Еластични модули	Просек оцена	360	410	240

Карактеристике чамца за полупроводнике

Врхунска отпорност на топлоту и термичка униформност
Фини СиЦ кристал обложен за глатку површину
Висока отпорност на хемијско чишћење
Материјал је дизајниран тако да не дође до пукотина и деламинације.