Ваферски чамац за полупроводничке процесе

Семицорек нуди чамце за плочице, постоља и прилагођене носаче плочица за вертикалне/стубне и хоризонталне конфигурације. Већ дуги низ година смо произвођач и добављач филма за облагање од силицијум карбида. Наш чамац за полупроводничке процесе има добру предност у цени и покрива већину европских и америчких тржишта. Радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер у Кини.

Пошаљи упит

Опис производа

Семицорек СиЦ Вафер Боат за процес полупроводника, врхунско решење за руковање плочицама и заштиту у производњи полупроводника. Наш чамац за полупроводнике направљен је од висококвалитетног силицијум карбида, који има добру отпорност на корозију и одличну отпорност на високе температуре и термички удар. Напредна керамика пружа одличну термичку отпорност и издржљивост плазме, а истовремено ублажава честице и загађиваче за носаче вафла великог капацитета.

Параметри чамца за полупроводнике

Тецхницал Пропертиес
Индекс	Јединица	Валуе
Назив материјала		Реакционо синтеровани силицијум карбид	Синтеровани силицијум карбид без притиска	Рекристализовани силицијум карбид
Композиција		РБСиЦ	ССиЦ	Р-СиЦ
Булк Денсити	г/цм3	3	3,15 ± 0,03	2.60-2.70
Флекурал Стренгтх	МПа (кпси)	338(49)	380(55)	80-90 (20°Ц) 90-100 (1400°Ц)
Снага на притисак	МПа (кпси)	1120(158)	3970(560)	> 600
Тврдоћа	Дугме	2700	2800	/
Бреакинг Тенацити	МПа м1/2	4.5	4	/
Тхермал Цондуцтивити	В/м.к	95	120	23
Коефицијент термичке експанзије	10^-6.1/°Ц	5	4	4.7
Специфична топлота	џул/г 0к	0.8	0.67	/
Максимална температура у ваздуху	℃	1200	1500	1600
Еластиц Модулус	Гпа	360	410	240

Карактеристике Вафер Боат-а за полупроводничке процесе

Врхунска отпорност на топлоту и термичка униформност
Фини СиЦ кристал обложен за глатку површину
Висока отпорност на хемијско чишћење
Материјал је дизајниран тако да не дође до пукотина и деламинације.