Горњи полувреме

Семицорек Ворг Халф Месец је полукружни носач вафера пажљиво пројектован за опрему за прераду епитаксије. Као критична компонента суцептора у процесу епитаксија, овај део је осмишљен да подржи и стабилизује силицијумске вафле током високе температуре хемијске паре (ЦВД). Произведено од графита високог чистоћа и заштићен је униформним слојем силицијума (сички), горњи полувремен комбинује механичку робусност, одличну топлотну проводљивост и изузетну отпорност на корозију на испуњавању захтева епитаксије високе прецизне прецизности.

Овај производ своје име произилази из своје изразене геометрије полу-месец, који је наменски изграђен за специфичне ротационе платформе у појединачним или вишеструким епитаксијским реакторима. Његов јединствени облик не само олакшава јединствени проток гаса и топлотна дистрибуција, већ омогућава једноставну интеграцију у постојеће склопове грејања и ротације. Полукружни дизајн осигурава оптимално позиционирање од резина, минимизира топлотни стрес и игра кључну улогу у постизању јединствене дебљине епитаксијалног филма широм целокупне површине резина.

Горњи полувременски производ укључује подлогу ултра-финог графита због комбинованих предности перформанси стабилне ултра-фине структуре на изузетно високим температурама заједно са отпором на неуспех због поновљених покрета. Да бисте продужили употребу, густог сеничког премаза високе чистоће примењивала је хемијска технологија таложења паре, изоловање графитне подлоге са ХЦл, ЦЛ₂, Силане и других гасова за корозивне процесе. Без обзира на то, СИЦ премаз промовише издржљивији и продуженији животни производ и горњим полумесечним производом и деловима у својој тоталности, а чак и смањење контаминације животног окружења, на крају користи принос процеса и квалитету фирме.

Површински завршетак СИЦ слоја је специфициран и раван је или гладак да би се промовисао константни пренос топлоте на подлогу и формирање константног филма. Штавише, СИЦ премаз побољшава отпорност на компонентама на стварање честица који је кључни фактор оштећења осетљивих полуводичких апликација. Параметри перформанси, укључујући врло ниско превлашће и врло ниску деформацију изнад 1200 ° Ц пружају ефикасне компоненте за веома дуге циклусе оперативних операција, смањење трошкова и трошкова одржавања система.

Семицорек Вортор Халф Месец је други у односу на толеранције, премаз према уједначености и избор материјала. Одржавамо строгу контролу квалитета на сваком кораку, од графитне обраде, на таложење СИЦ-ова премаза и коначне инспекције, осигуравајући да свака јединица испуни строге стандарде потребне опреме за полуводиче. Поред тога, наше искуство у прилагођавању геометрија, дебљина и површинских третмана признаје се да ће се применити на готово све облике епитаксно платформи.

Горњи полувремен је критично важан за стабилност, термичку униформност и контролу контаминације за силицијум или једињење полуводичке епитаксије. Сходно томе, Семицорек користи неуспоредиву експертизу, материјалну технологију и производњу конзистентности за постизање очекивања купаца за поуздане компоненте суцептора високих перформантова.