Семицорек графитни пријемник пројектован посебно за опрему за епитаксију са високом отпорношћу на топлоту и корозију у Кини. Наши ГаН-он-СиЦ сусцептори имају добру предност у цени и покривају многа европска и америчка тржишта. Радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер у Кини.
ГаН-он-СиЦ Носачи плочица супстрата који се користе у фазама таложења танког филма или обраде плочица морају да издрже високе температуре и грубо хемијско чишћење. Семицорек испоручује ГаН-он-СиЦ сусцептор високе чистоће обложен СиЦ-ом који обезбеђује супериорну отпорност на топлоту, чак и термичку униформност за конзистентну дебљину епи слоја и отпорност, и трајну хемијску отпорност. Фини СиЦ кристални премаз обезбеђује чисту, глатку површину, критичну за руковање, јер нетакнуте плочице долазе у контакт са суцептором на многим тачкама по целој површини.
У Семицорек-у се фокусирамо на пружање висококвалитетних, исплативих производа нашим купцима. Наш ГаН-он-СиЦ сусцептор има предност у цени и извози се на многа европска и америчка тржишта. Циљ нам је да будемо ваш дугорочни партнер, испоручујући производе доследног квалитета и изузетну услугу за кориснике.
Параметри ГаН-он-СиЦ сусцептора супстрата
Главне спецификације ЦВД-СИЦ премаза |
||
СиЦ-ЦВД особине |
||
Цристал Струцтуре |
ФЦЦ β фаза |
|
Густина |
г/цм ³ |
3.21 |
Тврдоћа |
Викерсова тврдоћа |
2500 |
Величина зрна |
μм |
2~10 |
Хемијска чистоћа |
% |
99.99995 |
Топлотни капацитет |
Ј кг-1 К-1 |
640 |
Сублиматион Температуре |
℃ |
2700 |
Фелекурал Стренгтх |
МПа (РТ 4 тачке) |
415 |
Јангов модул |
Гпа (4пт савијање, 1300℃) |
430 |
Термичка експанзија (Ц.Т.Е) |
10-6К-1 |
4.5 |
Топлотна проводљивост |
(В/мК) |
300 |
Карактеристике ГаН-он-СиЦ сусцептора супстрата
- И графитна подлога и слој силицијум карбида имају добру густину и могу играти добру заштитну улогу у високим температурама и корозивним радним окружењима.
- Сусцептор обложен силицијум карбидом који се користи за раст монокристала има веома високу равност површине.
- Смањите разлику у коефицијенту топлотног ширења између графитне подлоге и слоја силицијум карбида, ефикасно побољшајте снагу везивања како бисте спречили пуцање и раслојавање.
- И графитна подлога и слој силицијум карбида имају високу топлотну проводљивост и одлична својства дистрибуције топлоте.
- Висока тачка топљења, отпорност на оксидацију високе температуре, отпорност на корозију.