СиЦ Епи-Вафер Сусцептор

Семицорек је велики произвођач и добављач графитних сусцептора обложених силицијум карбидом у Кини. Фокусирамо се на индустрију полупроводника као што су слојеви силицијум карбида и епитаксијски полупроводници. Наш СиЦ Епи-Вафер Сусцептор има добру предност у цени и покрива многа европска и америчка тржишта. Радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер.

Пошаљи упит

Опис производа

Семицорек испоручује СиЦ Епи-Вафер Сусцептор обложен МОЦВД-ом који се користи за подршку плочица. Њихова графитна конструкција обложена силицијум карбидом високе чистоће (СиЦ) обезбеђује врхунску отпорност на топлоту, чак и термичку униформност за конзистентну дебљину и отпорност епи слоја, као и трајну хемијску отпорност. Фини СиЦ кристални премаз обезбеђује чисту, глатку површину, критичну за руковање, пошто нетакнуте плочице долазе у контакт са суцептором на многим тачкама по целој површини.
Наш СиЦ Епи-Вафер Сусцептор је дизајниран да постигне најбољи ламинарни образац протока гаса, обезбеђујући равномерност термичког профила. Ово помаже у спречавању било какве контаминације или дифузије нечистоћа, обезбеђујући висококвалитетан епитаксијални раст на чипу плочице.
Контактирајте нас данас да бисте сазнали више о нашем СиЦ Епи-вафер сусцептору.

Параметри СиЦ епи-вафер сусцептора

Главне спецификације ЦВД-СИЦ премаза
СиЦ-ЦВД својства
Кристална структура	ФЦЦ И² фаза
Густина	г/цм ³	3.21
Тврдоћа	Викерсова тврдоћа	2500
Величине зрна	И¼м	2~10
Хемијска чистоћа	%	99.99995
Топлотни капацитет	Ј·кг-1 ·К-1	640
Температура сублимације	℃	2700
Фелекурал Стренгтх	МПа (РТ 4 тачке)	415
Иоунг'с Модулус	Гпа (4пт савијање, 1300а)	430
Термичка експанзија (Ц.Т.Е)	10-6К-1	4.5
Топлотна проводљивост	(В/мК)	300

Карактеристике СиЦ Епи-Вафер Сусцептора

Графит високе чистоће обложен СиЦ
Врхунска отпорност на топлоту и термичка униформност
Фини СиЦ кристал обложен за глатку површину
Висока отпорност на хемијско чишћење
Материјал је дизајниран тако да не дође до пукотина и деламинације.