Сусцептор за епитаксију од силицијум карбида

Семицорек је велики произвођач и добављач силицијум карбидног епитаксичног сусцептора у Кини. Фокусирамо се на индустрију полупроводника као што су слојеви силицијум карбида и епитаксијски полупроводници. Наши производи имају добру предност у цени и покривају многа европска и америчка тржишта. Радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер.

Пошаљи упит

Опис производа

Семицорек пружа услуге процеса наношења СиЦ премаза ЦВД методом на површини графита, керамике и других материјала, као што је епитаксиони сусцептор од силицијум карбида, тако да специјални гасови који садрже угљеник и силицијум реагују на високој температури да би добили молекуле СиЦ високе чистоће, молекуле депоноване на површине обложених материјала, формирајући СИЦ заштитни слој. Формирани СИЦ је чврсто везан за графитну подлогу, дајући графитној бази посебна својства, чинећи тако површину графита компактном, без порозности, отпорношћу на високе температуре, отпорношћу на корозију и отпорношћу на оксидацију.
Наш силицијум-карбидни епитаксиозни сусцептор је дизајниран да постигне најбољи ламинарни образац протока гаса, обезбеђујући равномерност термичког профила. Ово помаже у спречавању било какве контаминације или дифузије нечистоћа, обезбеђујући висококвалитетан епитаксијални раст на чипу плочице.
Контактирајте нас данас да бисте сазнали више о нашем епитаксијском сусцептору од силицијум карбида.

Параметри епитаксијалног сусцептора силицијум карбида

Главне спецификације ЦВД-СИЦ премаза
СиЦ-ЦВД својства
Кристална структура	ФЦЦ И² фаза
Густина	г/цм ³	3.21
Тврдоћа	Викерсова тврдоћа	2500
Величине зрна	И¼м	2~10
Хемијска чистоћа	%	99.99995
Топлотни капацитет	Ј·кг-1 ·К-1	640
Температура сублимације	℃	2700
Фелекурал Стренгтх	МПа (РТ 4 тачке)	415
Иоунг'с Модулус	Гпа (4пт савијање, 1300а)	430
Термичка експанзија (Ц.Т.Е)	10-6К-1	4.5
Топлотна проводљивост	(В/мК)	300

Карактеристике силицијум карбидног епитаксијалног сусцептора

- И графитна подлога и слој силицијум карбида имају добру густину и могу играти добру заштитну улогу у високим температурама и корозивним радним окружењима.
- Сусцептор обложен силицијум карбидом који се користи за раст монокристала има веома високу равност површине.
- Смањите разлику у коефицијенту топлотног ширења између графитне подлоге и слоја силицијум карбида, ефикасно побољшајте снагу везивања како бисте спречили пуцање и раслојавање.
- И графитна подлога и слој силицијум карбида имају високу топлотну проводљивост и одлична својства дистрибуције топлоте.
- Висока тачка топљења, отпорност на оксидацију на високим температурама, отпорност на корозију.