Водећи прстен за ТаЦ премаз

Функција одВодећи прстен за ТаЦ премаз:

Прецизна контрола протока гаса:Водећи прстен за ТаЦ премаз је стратешки позициониран унутар система за убризгавање гаса МОЦВД реактора. његова примарна функција је да усмерава проток гасова прекурсора и обезбеди њихову равномерну дистрибуцију по површини подлоге. Ова прецизна контрола над динамиком протока гаса је неопходна за постизање равномерног раста епитаксијалног слоја и жељених својстава материјала.

Управљање топлотом:Водећи прстен за ТаЦ премаз често ради на повишеним температурама због њихове близине загрејаном пријемнику и подлози. ТаЦ-ова одлична топлотна проводљивост помаже у ефикасном расипању топлоте, спречавајући локализовано прегревање и одржавајући стабилан температурни профил унутар реакционе зоне.

Предности ТаЦ у МОЦВД:

Отпорност на екстремне температуре:ТаЦ се може похвалити једном од највиших тачака топљења међу свим материјалима, која прелази 3800°Ц. 

Изузетна хемијска инертност:ТаЦ показује изузетну отпорност на корозију и хемијске нападе од реактивних прекурсора гасова који се користе у МОЦВД, као што су амонијак, силан и различита метал-органска једињења.

Поређење отпорности на корозију ТаЦ и СиЦ

Ниска топлотна експанзија:ТаЦ-ов низак коефицијент топлотног ширења минимизира промене димензија услед температурних флуктуација током МОЦВД процеса. 

Висока отпорност на хабање:Тврдоћа и издржљивост ТаЦ-а обезбеђују одличну отпорност на хабање услед константног протока гасова и потенцијалних честица унутар МОЦВД система. 

Предности МОЦВД перформанси:

Употреба Семицорек ТаЦ водећег прстена за премазивање у МОЦВД опреми значајно доприноси:

Побољшана униформност епитаксијалног слоја:Прецизна контрола протока гаса олакшана помоћу ТаЦ Цоатинг Гуиде Ринг-а обезбеђује уједначену дистрибуцију прекурсора, што резултира високо уједначеним растом епитаксијалног слоја са доследном дебљином и саставом.

Побољшана стабилност процеса:Термичка стабилност и хемијска инертност ТаЦ доприносе стабилнијем и контролисаном реакционом окружењу унутар МОЦВД коморе, минимизирајући варијације процеса и побољшавајући поновљивост.

Повећано време рада опреме:Издржљивост и продужени животни век ТаЦ водећег прстена за премазивање смањују потребу за честим заменама, минимизирајући застоје у одржавању и максимизирајући оперативну ефикасност МОЦВД система.