Графит за превлаку ТаЦ настаје облагањем површине графитне подлоге високе чистоће финим слојем тантал карбида патентираним процесом хемијског таложења паре (ЦВД).
Тантал карбид (ТаЦ) је једињење које се састоји од тантала и угљеника. Има металну електричну проводљивост и изузетно високу тачку топљења, што га чини ватросталним керамичким материјалом познатим по својој чврстоћи, тврдоћи и отпорности на топлоту и хабање. Тачка топљења тантал карбида достиже максимум на око 3880°Ц у зависности од чистоће и има једну од највиших тачака топљења међу бинарним једињењима. Ово га чини атрактивном алтернативом када захтеви за вишим температурама превазилазе могућности перформанси које се користе у епитаксијалним процесима сложених полупроводника као што су МОЦВД и ЛПЕ.
Подаци о материјалу Семицорек ТаЦ Цоатинга
Пројекти |
Параметерс |
Густина |
14,3 (гм/цм³) |
Емисивност |
0.3 |
ЦТЕ (×10-6/К) |
6.3 |
Тврдоћа (ХК) |
2000 |
Отпор (ом-цм) |
1×10-5 |
Термичка стабилност |
<2500℃ |
Промена димензија графита |
-10~-20ум (референтна вредност) |
Цоатинг Тхицкнесс |
≥20ум типична вредност (35ум±10ум) |
|
|
Горе наведене су типичне вредности |
|
Водећи прстен Семицорек ТаЦ премаза служи као најважнији део у опреми за таложење метално-органским хемијским парама (МОЦВД), обезбеђујући прецизну и стабилну испоруку прекурсора гасова током процеса епитаксијалног раста. Водећи прстен за ТаЦ премаз представља низ својстава која га чине идеалним за издржавање екстремних услова који се налазе у МОЦВД реакторској комори.**
ОпширнијеПошаљи упитСемицорек ТаЦ Цоатинг Вафер Цхуцк представља врхунац иновације у процесу епитаксије полупроводника, критичној фази у производњи полупроводника. Са нашом посвећеношћу испоруци производа врхунског квалитета по конкурентним ценама, спремни смо да будемо ваш дугорочни партнер у Кини.*
ОпширнијеПошаљи упитСемицорек МОЦВД сусцептор са ТаЦ премазом је врхунска компонента педантно израђена за оптималне перформансе у процесима епитаксије полупроводника унутар МОЦВД система. Семицорек је непоколебљив у нашој посвећености испоруци врхунских производа по веома конкурентним ценама. Жељни смо да успоставимо трајно партнерство са вама у Кини.*
ОпширнијеПошаљи упитСемицорек ЦВД ТаЦ обложени прстен је критична компонента у обради полупроводника, симболизујући зенит савременог инжењерства материјала. Направљен за примену у најригорознијим окружењима где прецизност и поузданост владају, овај прстен оличава фузију најсавременијих техника премаза са науком о отпорним материјалима. Семицорек стабилно испоручује врхунске производе по конкурентним ценама и жељно очекујемо да успоставимо дугогодишње партнерство са вама у Кини.*
ОпширнијеПошаљи упитСемицорек ТаЦ обложен планетарни сусцептор је високо специјализована компонента дизајнирана за употребу у епитаксијалним процесима производње полупроводника. Семицорек је посвећен испоруци производа врхунског квалитета по конкурентним ценама. Жељни смо да успоставимо дугорочно партнерство са вама у Кини.*
ОпширнијеПошаљи упитСемицорек тантал карбид премаз за водени прстен је напредна компонента посебно дизајнирана за индустрију полупроводника, која игра кључну улогу у расту кристала силицијум карбида (СиЦ). Овај производ је конструисан да испуни строге захтеве окружења са високим температурама и високим стресом својственим процесима раста полупроводничких кристала. Семицорек је посвећен пружању квалитетних производа по конкурентним ценама, радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер у Кини*.
ОпширнијеПошаљи упит