Графит за превлаку ТаЦ настаје облагањем површине графитне подлоге високе чистоће финим слојем тантал карбида патентираним процесом хемијског таложења паре (ЦВД).
Тантал карбид (ТаЦ) је једињење које се састоји од тантала и угљеника. Има металну електричну проводљивост и изузетно високу тачку топљења, што га чини ватросталним керамичким материјалом познатим по својој чврстоћи, тврдоћи и отпорности на топлоту и хабање. Тачка топљења тантал карбида достиже максимум на око 3880°Ц у зависности од чистоће и има једну од највиших тачака топљења међу бинарним једињењима. Ово га чини атрактивном алтернативом када захтеви за вишим температурама превазилазе могућности перформанси које се користе у епитаксијалним процесима сложених полупроводника као што су МОЦВД и ЛПЕ.
Подаци о материјалу Семицорек ТаЦ Цоатинга
Пројекти |
Параметерс |
Густина |
14,3 (гм/цм³) |
Емисивност |
0.3 |
ЦТЕ (×10-6/К) |
6.3 |
Тврдоћа (ХК) |
2000 |
Отпор (ом-цм) |
1×10-5 |
Термичка стабилност |
<2500℃ |
Промена димензија графита |
-10~-20ум (референтна вредност) |
Цоатинг Тхицкнесс |
≥20ум типична вредност (35ум±10ум) |
|
|
Горе наведене су типичне вредности |
|
Семицорек ТаЦ Цоатед Грапхите Цхуцк је компонента високих перформанси дизајнирана за прецизно руковање плочицама и процесе на високим температурама у производњи полупроводника. Изаберите Семицорек због његових иновативних, издржљивих производа који обезбеђују оптималне перформансе и дуговечност у захтевним применама полупроводника.*
ОпширнијеПошаљи упитСемицорек ТаЦ прстен је компонента високих перформанси дизајнирана за раст монокристала СиЦ, обезбеђујући оптималну дистрибуцију протока гаса и контролу температуре. Изаберите Семицорек за нашу експертизу у области напредних материјала и прецизног инжењеринга, пружајући издржљива и поуздана решења која побољшавају ефикасност и квалитет ваших полупроводничких процеса.*
ОпширнијеПошаљи упитСемицорек тантал карбидни део је графитна компонента обложена ТаЦ-ом дизајнирана за употребу високих перформанси у апликацијама за раст кристала силицијум карбида (СиЦ), нудећи одличну температурну и хемијску отпорност. Изаберите Семицорек за поуздане, висококвалитетне компоненте које побољшавају квалитет кристала и ефикасност производње у производњи полупроводника.*
ОпширнијеПошаљи упитСемицорек тантал карбидни прстенови су критичне компоненте које се користе у напредним процесима производње полупроводника. Познати по својој изузетној тврдоћи, високој тачки топљења и хемијској инертности, у компанији Семицорек смо посвећени испоруци производа који испуњавају највише стандарде квалитета и перформанси, обезбеђујући да наши клијенти остану на челу иновација у индустрији полупроводника.*
ОпширнијеПошаљи упитСемицорек ТаЦ Цоатинг Вафер Сусцептор је графитна посуда обложена тантал карбидом, која се користи у епитаксијалном расту од силицијум карбида да побољша квалитет и перформансе плочице. Изаберите Семицорек због његове напредне технологије премаза и издржљивих решења која обезбеђују врхунске резултате епитаксије на СиЦ и продужен животни век пријемника.*
ОпширнијеПошаљи упитВодећи прстенови за ТаЦ премаз су графитни прстен са премазом од тантал карбида, дизајниран за употребу у пећима за раст кристала силицијум карбида како би се побољшао квалитет кристала. Изаберите Семицорек због његове напредне технологије премаза, која обезбеђује врхунску издржљивост, термичку стабилност и оптимизоване перформансе раста кристала.*
ОпширнијеПошаљи упит