ТаЦ обложена планетарна плоча

Планетарна плоча обложена Семицорек ТаЦ служи као кључна компонента унутар МОЦВД реактора, показујући планетарни дизајн који карактеришу бројни џепови за плочице распоређени дуж њене површине. Ови џепови су посебно креирани да поуздано прилагоде плочице током фазе раста било ког епитаксијалног слоја, стабилизујући подлоге и минимизирајући померање подлоге при повишеним температурама процеса. Тачна геометрија џепова обезбеђује конзистентно постављање плочице које је важно за уједначену дебљину епитаксијалних слојева и нивое униформности дефекта супстрата за све плочице које се узгајају током истог процеса.

Важан аспект дизајна планетарне плоче, још једном, је пројектована дисперзија финих рупа за проток гаса дуж површине плоче. Ове рупе су пажљиво дизајниране и стратешки позициониране посебно за мерење протока прекурсора гасова у реактору, тако да се уједначена дисперзија гаса и равномерно таложење постижу између сваке плочице. У било ком МОЦВД процесу, аспекти гасне динамике су критични у одређивању квалитета филма, уједначености дебљине и укупних перформанси уређаја. Оптимизован дизајн рупа наТаЦ ЦоатедПланетарна плоча осигурава да све плочице искусе исте услове процеса, што пружа оптималан начин за побољшање приноса и поновљивости.

ТхеПланетарна плоча обложена Семицорек ТаЦ служи као кључна компонента унутар МОЦВД реактора, показујући планетарни дизајн који карактеришу бројни џепови за плочице распоређени дуж њене површине. Ови џепови су посебно креирани да поуздано прилагоде плочице током фазе раста било ког епитаксијалног слоја, стабилизујући подлоге и минимизирајући померање подлоге при повишеним температурама процеса. Тачна геометрија џепова обезбеђује конзистентно постављање плочице које је важно за уједначену дебљину епитаксијалних слојева и нивое униформности дефекта супстрата за све плочице које се узгајају током истог процеса.додатно продужава перформансе и животни век планетарне плоче. Тантал карбид је изузетно тврд, хемијски инертан и топлотно проводљив, што га чини одличним премазом за екстремна МОЦВД окружења. Током епитаксије, компоненте у реактору ће се сусрести са високим температурама, реактивним гасовима прекурсора и излагањем плазми. ТаЦ премаз служи као чврста баријера за корозију, оксидацију и стварање честица, што резултира значајним продужењем животног века планетарне плоче од необложене или конвенционално обложене плоче.

Дуготрајност и издржљивост Планетарне плоче обложене ТаЦ-ом чине је исплативим избором за МОЦВД системе. Издржљиви ТаЦ слој може да издржи поновљене термичке циклусе и излагање екстремним процесним гасовима уз одржавање структуралног интегритета и стабилности перформанси док ради у дужем временском периоду.