Рецеивер Плате

Семицорек сусцептор плоча је кључна компонента у процесу епитаксијалног раста, посебно дизајнирана да носи полупроводничке плочице током таложења танких филмова или слојева. У контексту метал-органског хемијског таложења паром (МОЦВД), ове плоче су посебно израђене од материјала који могу да издрже високе температуре и обезбеђују стабилну површину за раст епитаксијалних слојева.

Сусцептор плоча која се користи у овом процесу је направљена од графита који је обложен силицијум карбидом (СиЦ) кроз сам МОЦВД процес. Силицијум карбид нуди изузетну термичку стабилност, механичку чврстоћу и отпорност на хемијске реакције, што га чини идеалним избором за захтевне услове епитаксијалног раста.

Током МОЦВД-а, сусцептор плоча игра кључну улогу тако што ефикасно преноси топлоту на полупроводничке плочице. Плоча апсорбује енергију из околног окружења и зрачи је према плочицама, олакшавајући контролисано таложење танких филмова на површине плочице. Ова прецизна контрола температуре је неопходна за постизање уједначених и висококвалитетних епитаксијалних слојева, који су кључни у производњи напредних полупроводничких уређаја.

Сусцептор плоча у МОЦВД процесима, састављена од графита обложеног СиЦ, служи као поуздана платформа за подршку полупроводничких плочица, обезбеђујући оптималан пренос топлоте и доприносећи успешном епитаксијалном расту танких филмова са жељеним карактеристикама за примене у полупроводницима.