Семицорек СиСиЦ Вафер Боат је кључна компонента у полупроводницима, направљена је од керамике високе чистоће силицијум карбида са ЦВД премазом. Семицорек може да понуди најпогоднија решења заснована на потребама купаца и квалификована од стране партнера широм света.*
У конкурентском окружењу производње полупроводника и соларних ћелија, балансирање протока и дуговечности компоненти је од суштинског значаја. НашеСиСиЦ Вафер Боат је пројектован да буде „индустријска радна коњица“ за рад у пећи на високим температурама. Коришћењем процеса реакционог везивања, ми испоручујемо носач који нуди супериорну механичку чврстоћу и отпорност на топлотне ударе у поређењу са традиционалним кварцом и стандардном керамиком.
За разлику од синтерованог СиЦ, који се формира консолидацијом праха под високим притиском,СиСиЦ Вафер Боат се производи инфилтрацијом порозног угљеничног предформе са растопљеним силицијумом. Овај процес "реакционог везивања" резултира материјалом са скоро нултим скупљањем током производње, омогућавајући производњу сложених, великих архитектура чамаца са невероватном прецизношћу димензија.
Један од најкритичнијих изазова у серијској обради је брзи циклус "пусх-пулл" пећи. Кварцни носачи често пуцају под термичким стресом. СиСиЦ поседује значајно већи модул руптуре (МОР) и одличну топлотну проводљивост. Ово омогућава нашим чамцима да издрже брзо повећање температуре без ризика од квара конструкције, што директно доводи до краћег застоја опреме.
Како се величине плочице повећавају и серије постају веће како би се максимизирала пропусност, тежина на носачу се повећава. Наши СиСиЦ чамци показују изузетну отпорност на пузање. Док се други материјали могу савијати или савијати под великим оптерећењима на 1.250°Ц, СиСиЦ одржава своју геометрију, осигуравајући да паралелизам утора за плочице остане савршен током хиљада циклуса.
Наши СиСиЦ чамци су дизајнирани за оштра хемијска окружења. Материјал је инхерентно отпоран на корозивне гасове који се користе у ЛПЦВД и дифузионим процесима. Штавише, површина је обрађена како би се осигурало да нема миграције "слободног силицијума", пружајући стабилно, чисто окружење које штити електрични интегритет ваших плочица.
| Имовина |
СиСиЦ (реакционо везано) |
Традиционални кварц |
Индустриал Бенефит |
| Максимална темп |
1,350°Ц – 1,380°Ц |
~1100°Ц |
Већа флексибилност процеса |
| Тхермал Цондуцтивити |
> 150 В/м·К |
1,4 В/м·К |
Брзо, равномерно загревање |
| Еластиц Модулус |
~330 ГПа |
~70 ГПа |
Нема пропадања под великим оптерећењем |
| Порозност |
< 0,1% |
0% |
Минимална апсорпција гаса |
| Густина |
3,02 - 3,10 г/цм³ |
2,20 г/цм³ |
Висока структурна стабилност |
Наш СиСиЦ Вафер Боат је компатибилан са водећим светским ОЕМ произвођачима пећи, укључујући ТЕЛ (Токио Елецтрон), АСМ и Кокусаи Елецтриц. Пружамо прилагођена решења за:
Хоризонталне дифузионе пећи: чамци дуге дужине са високо прецизним прорезима за плочице од 150 мм и 200 мм.
Вертикални системи пећи: Дизајни мале масе који оптимизују проток гаса и топлотну униформност.
Производња соларних ПВ ћелија: Специјализовани СиСиЦ носачи дизајнирани за дифузију ПОЦл3 велике запремине, нудећи век трајања 5-10к дужи од кварца.
Експертски увид: За процесе који прелазе 1.380°Ц, препоручујемо нашу линију синтерованог СиЦ. Међутим, за огромну већину корака дифузије, оксидације и ЛПЦВД, СиСиЦ обезбеђује најисплативији однос перформанси и животног века у индустрији.
Стручност за материјале: Ми набављамо само алфа-СиЦ прах високе чистоће и силицијум електронског квалитета за наш процес реакционог везивања.
Прецизно инжењерство: Наше ЦНЦ могућности брушења омогућавају толеранције утора унутар ±0,02 мм, смањујући вибрације и ломљење плочице.
Одрживост и повраћај улагања: Преласком са кварца на СиСиЦ, фабрике обично виде 40% смањење годишње потрошње на потрошни материјал због значајно смањене учесталости замене.
Сваки чамац који испоручујемо прати сертификат о усклађености (ЦоЦ) и извештај о потпуној инспекцији димензија, који осигурава да је ваш процесни комплет спреман за тренутну уградњу у чисту просторију.