Носач силиконских плочица

Семицорек обезбеђује керамику за полупроводнике за ваше ОЕМ алате за полупроизводњу и компоненте за руковање плочицама са фокусом на слојеве силицијум карбида у индустрији полупроводника. Већ дуги низ година смо произвођач и добављач носача силицијумских плочица. Наш носач силицијумских плочица има добру предност у цени и покрива већину европских и америчких тржишта. Радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер у Кини.

Пошаљи упит

Опис производа

Процеси таложења полупроводника користе комбинацију испарљивих гасова прекурсора, плазме и високе температуре за наношење висококвалитетних танких филмова на плочице. Коморама за таложење и алатима за руковање плочицама су потребне издржљиве керамичке компоненте да би издржале ова изазовна окружења.
Семицорек Силицон Вафер Царриер је силицијум карбид високе чистоће, који има висока својства отпорности на корозију и топлоту, као и одличну топлотну проводљивост.

Параметри носача силицијумских плочица

Тецхницал Пропертиес
Индекс	Јединица	Валуе
Назив материјала		Реакционо синтеровани силицијум карбид	Синтеровани силицијум карбид без притиска	Рекристализовани силицијум карбид
Композиција		РБСиЦ	ССиЦ	Р-СиЦ
Спец.густина	г/цм3	3	3,15 ± 0,03	2.60-2.70
Отпорност на савијање	МПа (кпси)	338(49)	380(55)	80-90 (20°Ц) 90-100 (1400°Ц)
Јачина притиска	МПа (кпси)	1120(158)	3970(560)	> 600
Тврдоћа	Кнооп	2700	2800	/
Бреакинг Тенацити	МПа м1/2	4.5	4	/
Топлотна проводљивост	В/м.к	95	120	23
Коефицијент термичког ширења	10^-6.1/°Ц	5	4	4.7
Специфична топлота	џул/г 0к	0.8	0.67	/
Максимална температура у ваздуху	℃	1200	1500	1600
Еластични модули	Просек оцена	360	410	240

Разлика између ССиЦ и РБСиЦ:

1. Процес синтеровања је другачији. РБСиЦ је да инфилтрира слободни Си у силицијум карбид на ниској температури, ССиЦ се формира природним скупљањем на 2100 степени.

2. ССиЦ има глаткију површину, већу густину и већу чврстоћу, за нека заптивања са строжијим захтевима за површину, ССиЦ ће бити бољи.

3. Различито коришћено време под различитим ПХ и температурама, ССиЦ је дужи од РБСиЦ

Карактеристике носача силиконских плочица

Графит високе чистоће обложен СиЦ
Врхунска отпорност на топлоту и термичка униформност
Фини СиЦ кристал обложен за глатку површину
Висока отпорност на хемијско чишћење
Материјал је дизајниран тако да не дође до пукотина и деламинације.

Доступни облици керамике од силицијум карбидаи¼

а Керамичка шипка / керамичка игла / керамички клип

а Керамичка цев / керамичка чаура / керамичка чаура

а Керамички прстен / керамичка подлошка / керамички одстојник

а Керамички диск

а Керамичка плоча / керамички блок

а Керамичка лопта

а Керамички клип

а Керамичка млазница

а Керамички лончић

а Остали керамички делови по мери