ИЦП плоча за гравирање од силицијум карбида

ИЦП плоча за гравирање од силицијум карбидаје компетентан за пружање стабилне подршке и прецизног позиционирања плочица у операцијама јеткања, ефикасно спречавајући смањење прецизности јеткања узроковано вибрацијама или померањем.

ИЦП плоча за гравирање од силицијум карбида има способност управљања топлотом. Врхунска топлотна проводљивостСИЦ керамикадаје Силицијум-карбид ИЦП Етцхинг Плате могућност брзог одвајања топлоте, што помаже у спречавању локалног прегревања радног предмета и осигурава уједначеност температуре јеткања, чиме се побољшава квалитет јеткања. СиЦ керамика има низак коефицијент термичке експанзије, што омогућава ИЦП плочи за јеткање од силицијум карбида да одржи добру стабилност димензија и смањи померање или деформацију радног предмета узроковану термичким ширењем.

Ослањајући се на своју одличну тврдоћу и чврстоћу, ИЦП плоча за јеткање од силицијум карбида показује способност да толерише механички стрес и удар плазме на који се сусрећу током процеса јеткања уз минималну деформацију или оштећење. Ова способност ефикасно побољшава принос и ефикасност производње полупроводничких уређаја.

Радно окружење ИЦП захтева чистоћу на нивоу полупроводника. Семицорек-ова ИЦП плоча за јеткање од силицијум карбида може у потпуности да испуни овај захтев, пружајући изузетну отпорност на хемијске гасове (као што су хлор и флуор) и плазму окружења за ИЦП јеткање. Ова значајна карактеристика одржава процесно окружење чистим смањењем количине загађивача који се ослобађа током операција нагризања.

Семицорек даје предност погодностима за корисника, нудећи прилагођене дизајне ИЦП плоче за гравирање од силицијум карбида које се неприметно интегришу са постојећим ИЦП системима за гравирање и компатибилне су са различитим конфигурацијама. Ово омогућава несметан прелаз, што га чини идеалним решењем за надоградњу за произвођаче опреме.