Керамички чамци од силицијум карбида

Избор врхунског материјала

Одлична својства Семицорек силицијум карбидне керамикенаполитанкесе приписују висококвалитетним сировинама. Направљени од СиСиЦ материјала за полупроводнике и прекривени ЦВД СиЦ премазом, керамичке плочице од силицијум карбида показују следећа одлична својства.

1.Ултра-висока чистоћа, без ослобађања металних нечистоћа

Нечистоћа подлоге: <100 ппм

ЦВД СиЦ нечистоћа у превлаци: <1 ппм

2.Супериорна термичка стабилност

Керамичке плочице од силицијум карбида могу да раде стабилно у условима високе температуре од 1250℃, испоручујући минималну деформацију и отпорност на пузање.

3.Висока механичка чврстоћа

Силицијум карбидпоседује високу тврдоћу и отпорност на хабање, омогућавајући Семицорек керамичким чамцима од силицијум карбида да издрже огреботине, хабање и оштећења, чиме се добро понашају током дуготрајног рада и отпорни су на оштећења.

4. Изузетна отпорност на корозију

Пошто је силицијум карбид отпоран на корозију јаких киселина и алкалија,  Семицорек керамичке плочице од силицијум карбида могу да одрже свој структурни интегритет и функционалне перформансе чак и под веома корозивним радним условима.

Оптимизована конструкција

Семицорек керамички чамци од силицијум карбида дизајнирани су за серијску обраду плочица, њихов оптимизовани структурни оквир обезбеђује стабилну подршку шарже и конзистентну стабилност процеса за сваку плочицу.

Вертикална носећа конструкција са 1,3 стуба

Вертикална структура Семицорек керамичких чамаца од силицијум карбида омогућава им да се неприметно уклапају у вертикалне примене у пећима. Са овом структуром,  емицорек силицијум карбид керамичке плочице могу да олакшају хомогену циркулацију процесних гасова и равномерну дистрибуцију топлотне енергије унутар високотемпературне пећи.

2.Униформли дистрибутед слот пинцхес

Семицорек керамички чамци од силицијум карбида опремљени су вишеструким прецизно обрађеним урезима на својим потпорним стубовима. Њихови равномерно распоређени штипаљци утора постижу одговарајући размак утора, што омогућава керамичким плочицама од силицијум карбида да чврсто причврсте полупроводничке плочице, чиме се доприноси побољшању конзистентности резултата термичке обраде плочице.

Са толико одличних перформанси и функција, Семицорек керамичке плочице од силицијум карбида се широко користе у основним процесима производње полупроводничких плочица, као што су оксидација, дифузија, имплантација јона и жарење на високој температури.