Кина Керамичке Мануфацтурерс, Супплиерс, Фацтори

Семицорек је ваш партнер за унапређење обраде полупроводника. Наши премази од силицијум карбида су густи, отпорни на високе температуре и хемикалије, који се често користе у целом циклусу производње полупроводника, укључујући обраду полупроводничких плочица и плочица и производњу полупроводника.

СиЦ керамичке компоненте високе чистоће су кључне за процесе у полупроводницима. Наша понуда се креће од потрошних делова за опрему за обраду плочица, као што је чамац за плочице од силицијум карбида, конзолне лопатице, цеви итд. за Епитаки или МОЦВД.

Предности за полупроводничке процесе

Фазе таложења танког филма као што су епитаксија или МОЦВД, или обрада при руковању плочицама као што је јеткање или јонски имплант морају издржати високе температуре и грубо хемијско чишћење. Семицорек обезбеђује конструкцију од силицијум карбида (СиЦ) високе чистоће која обезбеђује врхунску отпорност на топлоту и издржљиву хемијску отпорност, чак и топлотну униформност за конзистентну дебљину епи слоја и отпорност.

Поклопци комора →
Поклопци комора који се користе у процесу раста кристала и обраде плочица морају да издрже високе температуре и грубо хемијско чишћење.

Конзолно весло →
Конзолна лопатица је кључна компонента која се користи у процесима производње полупроводника, посебно у дифузионим или ЛПЦВД пећима током процеса као што су дифузија и РТП.

Процесна цев →
Процесна цев је кључна компонента, посебно дизајнирана у различитим апликацијама за обраду полупроводника као што је РТП, дифузија.

Ваферни чамци →
Вафер Боат се користи у преради полупроводника, пажљиво је дизајниран да обезбеди да се деликатне плочице чувају на сигурном током критичних фаза производње.

Улазни прстенови →
Улазни прстен за гас обложен СиЦ-ом помоћу МОЦВД опреме. Раст једињења има високу отпорност на топлоту и корозију, што има велику стабилност у екстремним условима.

Фокусни прстен →
Семицорек снабдева Фокусни прстен обложен силицијум карбидом је заиста стабилан за РТА, РТП или грубо хемијско чишћење.

Вафер Цхуцк →
Семицорек ултра равне керамичке вакуумске стезне главе су високе чистоће пресвучене СиЦ-ом које се користе у процесу руковања плочицама.

Семицорек такође има керамичке производе у глиници (Ал2О3), силицијум нитриду (Си3Н4), алуминијум нитриду (АИН), цирконијуму (ЗрО2), композитној керамици итд.