СиЦ вафла касета

Семицорек СиЦ касета за вафле, такође позната као чамац за плочице, развијена је посебно за операције оксидације, дифузије и жарења на температурама већим од 1200°Ц. Касете пружају значајну механичку подршку, као и поравнање за више плочица одједном током употребе у пећи на високим температурама, и показују велику механичку и димензиону стабилност током термичког напрезања и након тога.  Потражња за ултра чистим и термички стабилним материјалима за системе за руковање плочицама расте како се полупроводнички уређаји смањују у величини и повећавају перформансе.

Касета је направљена од високе чистоћесилицијум карбида, постоје и премази који се могу применити и за још веће користи. СиЦ има одличну стабилност топлотног удара, корозије и димензионалне деформације.  СиЦ има јединствену тврдоћу, хемијску инертност и топлотну проводљивост тако да је идеалан материјал за ово процесно окружење. СиЦ, у односу на алтернативе кварца и глинице, неће умањити своја механичка и хемијска својства при високим температурама обраде, чиме се смањује ризик од контаминације и побољшава униформност процеса плочице током производних процеса.

Ултрависока чистоћа СиЦ касете за вафле показује отпорност на металне или јонске загађиваче који улазе у процесну комору; нешто што је апсолутно неопходно за високу чистоћу како би се испунили захтеви процеса за напредне процесе производње полупроводника. Минимизирањем извора загађивача, касете од силицијум карбида ће повећати принос плочице и поузданост уређаја.

Семицорек-ова прецизна технологија обраде омогућава да се свака касета производи са малим толеранцијама, уједначеним нагибом утора и паралелним поравнањем. Прецизна обрада материјала подржава глатко пуњење и пражњење плочица, што смањује могућност огреботина при руковању облатни. Прецизан размак утора омогућава уједначену температуру и проток ваздуха кроз све плочице, што промовише уједначеност у оксидацији и дифузији док смањује варијабилност процеса.

СиЦ има одличну топлотну проводљивост, стабилност димензија и пружа поуздане перформансе при поновљеном термичком циклусу. Материјал је стабилан и не искривљује се и не пуца; његова висока крутост одржава структурни интегритет са високом температуром током дугих временских периода, значајно смањујући механички стрес на плочицама док ограничава вероватноћу нежељених честица које настају услед руковања услед трења или микро-вибрација.

Поред тога,СиЦИнертност према хемикалијама штити плочице од реакције на процесне гасове (нпр. кисеоник, водоник, амонијак) који су обично укључени током обраде. Касете за плочице су стабилне у оксидирајућим и неоксидирајућим атмосферама и могу се уградити у радни ток пећи кроз низ процеса као што су оксидација, дифузија, ЛПЦВД и жарење.

Да би испунио специфичне захтеве процеса, Семицорек нуди прилагођене СиЦ касете за вафле у различитим величинама, броју слотова и конфигурацијама. Свака јединица пролази кроз ригорозну инспекцију квалитета и површинску обраду како би се осигурала глаткоћа, чистоћа и тачност димензија. Опционо полирање површине додатно смањује стварање честица и побољшава компатибилност са аутоматизованим системима за руковање плочицама.