Керамички чамац од силицијум карбида

Семицорек нуди чамце за плочице, постоља и прилагођене носаче плочица за вертикалне/стубне и хоризонталне конфигурације. Већ дуги низ година смо произвођач и добављач филма за облагање од силицијум карбида. Наш керамички чамац од силицијум карбида има добру предност у цени и покрива већину европских и америчких тржишта. Радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер у Кини.

Пошаљи упит

Опис производа

Семицорек керамички чамац од силицијум карбида, врхунско решење за руковање плочицама и заштиту у производњи полупроводника.
Наш керамички чамац од силицијум карбида направљен је од висококвалитетног материјала обложеног слојем силицијум карбида (СиЦ) коришћеним ЦВД методом, који имају добру отпорност на корозију и одличну отпорност на високе температуре и топлотни удар. Напредна керамика пружа одличну термичку отпорност и издржљивост плазме, а истовремено ублажава честице и загађиваче за носаче вафла великог капацитета.

Параметри керамичког чамца од силицијум карбида

Тецхницал Пропертиес
Индекс	Јединица	Валуе
Назив материјала		Реакционо синтеровани силицијум карбид	Синтеровани силицијум карбид без притиска	Рекристализовани силицијум карбид
Композиција		РБСиЦ	ССиЦ	Р-СиЦ
Спец.густина	г/цм3	3	3,15 ± 0,03	2.60-2.70
Отпорност на савијање	МПа (кпси)	338(49)	380(55)	80-90 (20°Ц) 90-100 (1400°Ц)
Јачина притиска	МПа (кпси)	1120(158)	3970(560)	> 600
Тврдоћа	Кнооп	2700	2800	/
Бреакинг Тенацити	МПа м1/2	4.5	4	/
Топлотна проводљивост	В/м.к	95	120	23
Коефицијент термичког ширења	10^-6.1/°Ц	5	4	4.7
Специфична топлота	џул/г 0к	0.8	0.67	/
Максимална температура у ваздуху	℃	1200	1500	1600
Еластични модули	Просек оцена	360	410	240

Разлика између ССиЦ и РБСиЦ:

1. Процес синтеровања је другачији. РБСиЦ је да инфилтрира слободни Си у силицијум карбид на ниској температури, ССиЦ се формира природним скупљањем на 2100 степени.

2. ССиЦ има глаткију површину, већу густину и већу чврстоћу, за нека заптивања са строжијим захтевима за површину, ССиЦ ће бити бољи.

3. Различито коришћено време под различитим ПХ и температурама, ССиЦ је дужи од РБСиЦ

Карактеристике керамичког чамца од силицијум карбида

Врхунска отпорност на топлоту и термичка униформност
Фини СиЦ кристал обложен за глатку површину
Висока отпорност на хемијско чишћење
Материјал је дизајниран тако да не дође до пукотина и деламинације.