Семицорек чамци за касете од силицијум карбида су основни хоризонтални носачи плочица направљени од силицијум карбида кроз прецизну машинску обраду, пројектовани посебно за најсавременије процесе производње полупроводника, као што су процеси оксидације, дифузије и хемијског таложења паром. Као водећи добављач у индустрији, Семицорек има добро доказану производну технологију, прецизан пројектован дизајн и пажљиво прилагођену услугу, радујући се што ћете постати ваш дугорочни партнер у Кини.
Семицорекчамци са касетама од силицијум карбидасу незаменљиве компоненте за ношење, са својом стабилном структуром високе чврстоће, безбедно и прецизно држе, преносе и рукују вишеструким полупроводничким плочицама. Они се широко користе у различитим високотемпературним полупроводничким процесима како би се осигурала оптимизована дистрибуција протока топлоте и гаса за конзистентне резултате обраде.
Прецизно произведени од праха силицијум карбида полупроводника синтеровањем на високим температурама, Семицорек касетни чамци од силицијум карбида поседују следећа одлична својства.
1. Ултра-висока чистоћа:Садржај нечистоћа у супстрату је контролисан да буде испод 100 ППМ, а ниво нечистоћаЦВД силицијум карбидпремаз може достићи мање од 1 ППМ.
2. Поуздана отпорност на корозију:Керамика од силицијум карбида пружа јаку отпорност на корозију и отпорна је на корозију од већине киселина (као што су хлороводонична киселина, сумпорна киселина и флуороводонична киселина), алкалија (као што је каустична сода), растварача и оксидационих медија.
3. Изузетан капацитет управљања топлотом:Са изузетном топлотном отпорношћу и ниским коефицијентом топлотног ширења, касетни чамци од силицијум карбида могу задржати своја хемијска својства и механичку чврстоћу чак и када су изложени продуженим радним условима на високој температури око 1250 °Ц.
1. Хоризонтална структура оквира:Хоризонтална структура оквира Семицорек касетних чамаца од силицијум карбида чини их савршеним уклапањем у хоризонталне цеви за високотемпературне пећи.
2. Равномерно распоређени зарези:Са бројним равномерно распоређеним урезима, Семицорек касетни чамци од силицијум карбида могу чврсто држати плочицу на месту, што може значајно спречити нежељене огреботине, огреботине и оштећења која настају услед померања плочице, чиме се ефикасно осигурава стабилност процеса полупроводника и принос плочице.
3. Дизајн са више слотова:Вишеструки прорези дизајнирани да носе више плочица омогућавају Семицорек касетним чамцима од силицијум карбида да побољшају своју пропусност једносеријске обраде и укупну ефикасност производње.
4. Отворена архитектура:Семицорек касетни чамци од силицијум карбида опремљени су промишљеном отвореном архитектуром, која може помоћи у постизању равномерне дистрибуције гаса и довољног реакционог контакта, чиме се ефикасно минимизирају недоследни резултати процеса.