Сиц вертикални чамци

Семицорек сиц вертикални бродови су носачи за клима уређаје, дизајнирани и произведени да би се обезбедила највиша топлотна, механичка и хемијска стабилност за вертикалну сексуалну обраду полуводича пећи. Изграђен од велике чистоћесилицијум карбид, Верујемо да су они најбољи баланс снаге, издржљивости и чистоће за веома напредне термалне обраде, примећене као оксидација, дифузија, ЛПЦВД и жањевање у вертикалним системима пећи.

Вертикално окружење за прераду пећи захтевају систем за подршку од лима који може да издржи поновљена изложености на високом температури, често прелази 1.200 ° Ц и остаје димен-сионално стабилна без питања контаминације. Сиц вертикални бродови одликују своју робусност у тим ситуацијама због суштинских механичких и термичких својстава рекристализованог или ЦВД силицијумског карбида. Њихов изузетно низак коефицијент топлотног експанзије осигурава минималну ратну рату или изобличење због брзог топлотног бициклизма. Поред тога, висока топлотна проводљивост, нуди највећу локалну температурну хомогеност у целом свјетом вафлама, која је критична за досленост пазер-рефлектора у дебљини слоја, допинг профила и електричним перформансама; Важни аспекти производње високог јачине у полуводичкој индустрији.

У поређењу са традиционалним кварцним бродицама, сиц вертикални чамци испоручују супериорну механичку чврстоћу и продужени радни век услуга. Куартз тежи да постане крхка и оскије се временом, посебно у агресивне хемијске теме, што је довело до већих трошкова замјене и потенцијалне продукције производње. Супротно томе, силицијум карбид одржава његов интегритет чак и након продуженог излагања корозивним гасовима као што су хлор, ХЦл или амонијак, који су уобичајени у разним дифузијским и ЛПЦВД процесима. Његова изузетна отпорност на хабање и оксидацију увелико смањује стварање честица, помажући да заштите површине вафла од формације контаминације и оштећења.

Сиц вертикални чамци такође нуде значајну корист у погледу ултра-чисте прераде. СИЦ материјал високе чистоће се обрађује под строгом марљивошћу за смањење препознатљивог метала загађења у траговима који могу ометати оперативне карактеристике полуводичких уређаја. СИЦ вертикалне површине су добро завршене са десним углу функцијама које минимизирају шансу да се проливају микро-честице. Сиц површине су хемијски инертне и не реагују са процесним гасовима и стога су мање склони загађењу. У том погледу, сички вертикални чамци су добро погодни за предњи крај линије (фел) и задњи крај линијских операција прераде.

Сиц вертикални бродови такође нуде флексибилност дизајна. Сваки вертикални брод може бити специфично за дизајн за смештај више од пречника лима (150 мм, 200 мм или 300 мм вафла) и број утора и размак се могу користити како би се испунили захтеви за процесе. Прецизна обрада и димензионална контрола омогућавају правилно поравнавање и подршку од рефлектора који минимизира вероватноћу било каквих микро огреботина или пукотина на стрес током учитавања, прераде и истовара. Такође, ако је потребна супериорна температура уједначена и / или мање топлотне масе, оптимизоване геометрије и дизајни утора могу бити уграђени у конфигурације СИЦ вертикалних чамца, без жртвовања било каквих механичких својстава.

Још једна предност је одржавање и оперативна ефикасност. Крута конструкцијаСићВертикални чамци смањују време и фреквенцију замене, на тај начин минимизирајући прекид или трошкове власништва. Термички ударни отпор СИЦ-а омогућава краћим циклусима грејања и хлађења да испоручи већу пропусност на производне линије. Одржавање или чишћење сичких вертикалних бродица је такође веома једноставно; Материјал може издржати највише конвенционалних процеса мокрог или хемијског чишћења уобичајених у полуводичкој фабрици као што су хемијски чишћење са киселинама и печење на високом температуру.

У овом модерном узрасту софистицираног полуводичке израде у којој се побољшање приноса, контрола контаминације и стабилност у процесу имају сву важност, сиц вертикални бродови нуде истинску технолошку предност. Они се добро сналазе са физичким и хемијским изазовима вертикалне апликације пећи и доприносе укупној оптимизацији процеса пружајући интегритет резина, доследне резултате и дужи век вешања опреме.