СиЦ вертикални чамци

Семицорек СиЦ вертикални чамци су пројектовани носачи плочица, дизајнирани и произведени да обезбеде највећу термичку, механичку и хемијску стабилност за вертикалну обраду полупроводника у пећи. Направљен од високе чистоћесилицијум карбида, верујемо да су они најбољи баланс снаге, издржљивости и чистоће за веома напредну термичку обраду плочица, која се назива оксидација, дифузија, ЛПЦВД и жарење у вертикалним системима пећи.

Окружења за обраду у вертикалној пећи захтевају систем подршке за плочице који може да издржи поновљена излагања високим температурама, често преко 1200°Ц, и да остане стабилан у димензијама без проблема са контаминацијом. СиЦ вертикални чамци се истичу у својој робусности у овим ситуацијама због интринзичних механичких и термичких својстава рекристализованог или ЦВД силицијум карбида. Њихов изузетно низак коефицијент топлотног ширења обезбеђује минимално савијање или изобличење услед брзог термичког циклуса. Поред тога, висока топлотна проводљивост, нуди највећу хомогеност локалне температуре на свим плочицама, што је критично за конзистентност међу плочицама у дебљини слоја, профилима допинга и електричним перформансама; важни аспекти производње великог обима у индустрији полупроводника.

У поређењу са традиционалним кварцним чамцима, СиЦ вертикални чамци пружају супериорну механичку чврстоћу и продужени радни век. Кварц има тенденцију да постане крт и да се девитрификује током времена, посебно у агресивним хемијама у пећи, што доводи до већих трошкова замене и потенцијалних прекида производње. Насупрот томе, силицијум карбид задржава свој интегритет чак и након дужег излагања корозивним гасовима као што су хлор, ХЦл или амонијак, који су уобичајени у различитим процесима дифузије и ЛПЦВД. Његова изузетна отпорност на хабање и оксидацију у великој мери смањује стварање честица, помажући да се површине плочице заштите од контаминације и стварања дефеката.

СиЦ вертикални чамци такође нуде значајну предност у погледу ултра чисте обраде. СиЦ материјал високе чистоће се обрађује под строгом пажњом како би се смањили препознатљиви трагови контаминирајућих метала који могу ометати оперативне карактеристике полупроводничких уређаја. Површине СиЦ вертикалног чамца су добро обрађене са правим угловима који минимизирају могућност осипања микрочестица. СиЦ површине су хемијски инертне и не реагују са процесним гасовима и стога су мање склоне контаминацији. У том погледу, СиЦ вертикални чамци су веома погодни за операције обраде плочица на предњем крају линије (ФЕОЛ) и задњем крају линије (БЕОЛ).

СиЦ вертикални чамци такође нуде флексибилност дизајна. Сваки вертикални чамац може бити специфичан за дизајн како би се прилагодио вишеструким пречникима плочица (150 мм, 200 мм или 300 мм плочице) и број утора и размак се могу користити да би се испунили захтеви процеса. Прецизна обрада и контрола димензија омогућавају правилно поравнање плочице и подршку за плочице, минимизирајући вероватноћу било каквих микро-огреботина или напрслина током утовара, обраде и истовара. Такође, ако је за одређени процес потребна супериорна уједначеност температуре и/или мања термичка маса, оптимизоване геометрије и дизајн прореза могу бити уграђени у конфигурације СиЦ вертикалног чамца, без жртвовања било каквих механичких својстава.

Још једна предност је одржавање и оперативна ефикасност. Крута конструкција одСиЦВертикални чамци смањују време и учесталост замене, чиме се минимизирају застоји или трошкови поседовања. Отпорност на топлотни удар СиЦ-а омогућава краће циклусе грејања и хлађења како би се обезбедила већа пропусност на производним линијама. Одржавање или чишћење СиЦ вертикалних чамаца је такође веома једноставно; материјал може да издржи већину конвенционалних процеса мокрог или сувог чишћења уобичајених у фабрикама полупроводника, као што је хемијско чишћење киселинама и печење на високој температури.

У овом модерном добу софистициране производње полупроводника где су побољшање приноса, контрола контаминације и стабилност у процесу од велике важности, СиЦ вертикални чамци нуде праву технолошку предност. Они се добро носе са физичким и хемијским изазовима примене у вертикалним пећима и доприносе општој оптимизацији процеса испоруком интегритета плочице, доследних резултата и дужег века трајања опреме.