Сиц усисиваци

СемицорекСилицијум карбидСиц вакуумски стезари су високотехнолошки керамички алати дизајнирани да безбедно и поуздано држе полуводичке вафле током прецизних процеса уклањања материјала. Они су пројектовани за употребу у ултра-чистим, високим температурама и хемијски оштрим окружењима. Сиц вакуумски стезави помажу да испоручују врхунску адсорпцију и поравнање. Семицорек Сиц усисиваци се производе од високе чистоће силиконске карбидне керамике да би се пружило одличну механичку чврстоћу, топлотну проводљивост и хемијску издржљивост.

Главни посао вакуумског цхуцка је да се уједначе усисавање преко површине резине тако да се ваффе држи стабилно током процеса попут инспекције, таложења, етцх-а и литографије. Типични вакуумски стезави имају проблема са производњом честица, испуштањем или хемијским погоршањем током времена. За екстремне услове производње полуводича, сиц вакуумски стезави ће пружити врхунску дугорочну трајност и стабилност.

Силиконским карбидним материјалима су веома цењени за њихову тврдоћу, топлотну стабилност и ниску коефицијент топлотног експанзије. Ови материјали ће остати димензионално стабилни у широком распону температура, омогућавајући топлотну стабилност и побољшану тачност процеса без термичке неусклађености на лифе. Њихова висока топлотна проводљивост такође омогућава брзу расипање топлоте, што је корисно у брзим термичким почетним условима рампе или за кратке изложености високоенергетским плазмима.

СИЦ керамика не само да има само топлотне и механичке користи већ је и отпорна на корозију у плазми и агресивне процесне гасове. Ова карактеристика чини СИЦ вакуумским Цхуцкс-ом посебно повољним за сушење, ЦВД и ПВД процесе где се кварцни или алуминијумски нитридни материјали могу да се деграде са употребом. Хемијска инертност СИЦ-а помоћи ће у ограничавању контаминације и побољшати време алата.

Да би се пружило врхунске перформансе. Семицорек прави сиц вакуумске стејнице и одређује изузетно уска толеранције са ултра-равним површинама са структурама канала у ажурирању микрона. Помоћу ових функција пружа подршку од рефлектора са прецизним усисавањем и континуираном усисној регији за подршку од рефлектора који се смањује шансе за основе или лом самих ватре. Прилагођене дизајнерске услуге такође су доступне да одговарају различитим величинама вафла (2 "до 12") у различитим апликацијама.

Као већи принос, контрола процеса и поузданост су фактори, сиц вакуумски стезави су нове основне компоненте полуводичке опреме за следећу генерацију. Апликације сиц вакуумских стезања директно су везане за повећање, поузданост опреме и контроле прераде.