Руке за роботе сиц

Руке за семицорек сиц су најновија у крајњим ефектима дизајнираним за подношење роботика преноса преноса у области производње полуводича. Направљени са материјалима високих перформанси, пројектовали смо ове роботске руке са силиконским карбидом (СИЦ) керамиком да бисмо пружили максималну термичку табелу, хемијску стабилност и механичку чврстоћу за све оштрију животне средине или руковање.

Централни за наше руке СИЦ робота је наша изјава напреднасилицијум карбидПознат по својој високим тврдоћи (Министарство јело), висока топлотна проводљивост и отпорност на корозију. За разлику од традиционалних материјала као што су алуминијум или нехрђајући челик, СиЦ је компатибилан са оштрим окружењем полуводичких чистиних простора, укључујући прерађене високе температуре и реактивне гасове. Нудимо дугорочну издржљивост и минимализирамо контаминацију, у складу са строгом чистоћом потребном за производњу решетка.

Посемичка опрема са рукама СИЦ робота користе се усисавање негативног притиска како би се добио резина, полуводичарка на принципу кварца или керамичког прста користећи принцип усисне купа, а затим транспорт механичке акције који се шири, ротирајуће и подизање димња.

"Брзи" и "чистоћа" су основне карактеристике опреме за руковање полуводичем. Да би се испунили ове карактеристике, опрема има изузетно строге захтеве на перформансама коришћених компоненти. Будући да се већина процеса врши у вакууму, високотемпореметно и корозивно гасно окружење, ручка која се користи у опреми мора имати одлична физичка својства, као што су: висока механичка чврстоћа, отпорност на корозију, високим температурама, отпорност на хабање, велика тврдоћа, изолација итд.

Силицијум карбида керамикаИмати физичка својства густе текстуре, велике тврдоће, високо отпорност на хабање, као и добра отпорност на топлоту, одлична механичка чврстоћа, добра изолација у окружењу високих температура, добра отпорност на корозију и друга физичка својства. То је одличан материјал за прављење полуводича за руковање оружјем.

Препознајући да се роботске платформе разликују широм фабрика и произвођача алата, наше СИЦ роботе су доступне у низу стандардизованих величина и могу се прилагодити јединственим конфигурацијама алата. Уградбене интерфејсе, геометрије прста и функције подршке од ливе могу се прилагодити потребама за посебне опреме и процесе. Без обзира да ли преносите вафле у алате за кластере, вакуумске коморе или фоуп система, наше роботе се лако интегришу са водећим роботијским брендовима.

Свака ручна ручка СИЦ-а подвргава се строгој чишћењу, инспекцији и процедурама за паковање како би се осигурало усклађивање са стандардима чистоома класе 1. Непорозна, антистатичка површина СИЦ-а смањује лепљење честица, док робусна структура одолева микрофрактерима које би током времена могле довести до стварања честица. То их чини идеалним за процесе фронта на крају где чак и најмања контаминација може довести до квара уређаја.

Од епитаксије и јонске имплантације на ПВД, ЦВД и ЦМП, ручке СИЦ роботе верују се у сваком кораку производње уређаја за полуводиче. Њихов врхунска отпорност на топлотни удар и окружења у плазми чине их неопходним у напредним логичким и спојним полуводичким линијама, посебно где се користе подлоге СИЦ-а.