Семицорек Сиц Цеви су високе перформансе силицијумске карбидне керамичке компоненте дизајниране за апликације за семицондукторске пећи, пружајући изузетну топлотну, механичку и хемијску и хемијску стабилност у захтевним процесним окружењима. Изаберите Семицорек за прецизно-инжењериране СИЦ цеви које обезбеђују доследан квалитет, продужени радни век и максималну ефикасност пећи. *
Семицорек Сиц Цеви су керамички делови за полуводичке системе пећи. Имају јединствена својства која укључују висок топлотни пренос и високу температуру и хемијску употребу која је потребна у полу-температурним апликацијама где се очекују екстремни високи температури и хемијски услови за животну средину и где су некретнине пожељна - издржљивост, енергетска ефикасност и јединствени стабилни услови процеса - који омогућавају економично у напредним условним условима у напредној стабилној основи.
Семицорек сиц цеви користе фино зрно високе чистоћесилицијум карбидкоји се производи да има изузетну механичку стабилност високог температура као резултат напредних метода синтеровања и рекристализације и техника. Омогућавање високих перформанси СИЦ резултира изузетном механичком снагом и задржавањем топлотне стабилности на високим радним температурама. Сиц има изузетну тврдоћу која ублажава ношење или потенцијалну деформацију. Поред тога, атрибути повезани са СИЦ-овим својствима су ниско гориво коефикасно о топлотној експанзији су корисно јер ће ограничити топлотни стрес јер ће бити услови за бициклирање овог материјала између екстремне високе и ниске оперативне топлоте. У свим тим разматрањима имају посебан услужни програм за идеалне примене у тезери дифузије, опрема за оксидацију и ЛПЦВД / ПЕЦВД системи за одржавање стабилних услова процеса су корист за уклањање или ограничење, оштећења која су такође метрике везане за резиме или материјалне услове.
Друга важна корисност СиЦ-ових цеви је високи топлотни проводник у одређеним условима и важећим дизајном пећи за производњу високих стопа проводника и, пресудно, равномерно и стабилне дистрибуције температуре кроз процес. Ово поуздано понашање дозвољава вафлама да буду изложени полу-једнаким расподјелима температуре у разумним временским интервалима и додатно да ограниче термичке градијете да ублаже искривљене и / или оштећене вафло дно, истовремено побољшавају више и услови за одлагање филма.
Хемијска стабилност и отпорност је још један важан фактор перформанси. У се полуводичким процесима, цев пећи подвргнута је утицају високо реактивних гасова, укључујући кисеоник, водоник, амонијак и све халогене, који могу брзо да деградирају уобичајене материјале на брзи начин. Густа и непорозна микроструктура, заједно са хемијски инертном природом СИЦ-а, штити га против оксидације и корозије током пружања оперативних и механичких перформанси у екстремном процесу. Трајност СИЦ пећи помаже им да одржи интегритет обрасца и димензијске тачности током дуже временске периоде, што је важно за контролу процеса и стабилности.
Сиц цеви се могу произвести у широком распону величина и дебљине зидова, геометријски обликовани како би одговарали дизајну пећи и процесне потребе. Тачне карактеристике прецизних обраде такође се одржавају током дизајна и производње СИЦ цеви тако да оперативне толеранције могу бити чврсто, са глатким унутрашњим површинама и одлична концентричности за одржавање равнотеже ламинарског тока гаса и једноличних топлотних профила. Полирање и превлаке површине се могу пружити као опције лечења која ће побољшати перформансе смањењем стварања честица и побољшање отпорности на корозију.
Сиц цеви имају јасне оперативне и трошкове предности у поређењу са алтернативним материјалима попут кварцних или глинских цеви. Почетни трошкови за СИЦ компоненте могу бити незнатно виши, али живот производа, смањење лома и нижи захтеви за одржавање резултира укупним трошковима власништва који су нижи трошкови од алтернативних материјала и цеви.
Закључити, семицорекСићЦеви су најбоља опција за апликације за полуводичке пећи, јер пружају најбоље термичке перформансе, механичку чврстоћу, хемијску отпорност и поузданост за захтевно производно окружење. Овај материјал побољшава стабилност процеса и помаже у уштеду трошкова и ефикасности цестовних трошкова (тј. Нижу потрошњу енергије). СИЦ цеви су основни материјал за модерну полуводичку израду.