СИЦ Хоризонталне цеви за пећи

СИЦ хоризонталне цеви за пећсу незаобилазни носиоци система пећи, обично лоцирани у зони грејања језгра производње полупроводника или опреме за фотонапонску производњу. Они раде заједно са грејним елементима, системима за контролу температуре, системима за контролу гаса и чамцима за плочице да би формирали комплетан систем пећи.

У стварном раду, СИЦ хоризонталне цеви пећи се загревају помоћу грејних елемената, који равномерно преносе топлоту у цеви пећи уз помоћ одличне топлотне проводљивости материјала силицијум карбида. У међувремену, специфични процесни гасови (као што су кисеоник, азот, допинг гасови, итд.) се уводе у цев пећи. Под дејством ове високотемпературне гасне атмосфере, полупроводнички материјали унутар пећи ће бити подвргнути хемијским реакцијама или физичким променама, на крају постижући модификацију материјала, допинг или оптимизацију структуре.

Семицорекове СИЦ хоризонталне цеви за пећи испоручују изузетну механичку чврстоћу и тврдоћу, што игра значајну улогу у апликацијама које укључују руковање и обраду плочица великих количина. СИЦ хоризонталне цеви за пећ су у стању да обезбеде стабилну подршку плочицама у процесима термичке обраде као што су оксидација, дифузија и жарење, обезбеђујући да су плочице у правом положају током високотемпературне обраде и избегавајући померање или деформацију изазвану термичким стресом.

Семицорекове СИЦ хоризонталне цеви за пећ су произведене од високе чистоћекерамика од силицијум карбидаса ултра-ниским садржајем нечистоћа, након чега следи таложење ЦВД-апремаз од силицијум карбидана њиховој површини. Ова метода производње додаје заштитни слој на СИЦ хоризонталне цеви за пећи, што им омогућава да стабилно раде у захтевним високотемпературним и корозивним окружењима током времена. Ове перформансе отпорности на корозију СИЦ хоризонталних цеви за пећ побољшавају ефикасност производње полупроводничких плочица ефективно смањујући ризик од оштећења компоненти повезаних са корозијом и смањујући потребу за честим заменама и одржавањем.

Са толико супериорних својстава, Семицорек-ове СИЦ хоризонталне цеви за пећи се широко користе у многим процесима високотемпературне обраде у фотонапонској и полупроводничкој индустрији, као што су процес оксидације, процес дифузије, процес жарења и таложење хемијске паре ниског притиска.