СиЦ фокусни прстенови

Семицорек напредни СиЦ фокусни прстенови високе чистоће су направљени да издрже екстремна окружења у коморама за нагризање плазме (или суво нагризање). Фокусирамо се на индустрију полупроводника као што су слојеви силицијум карбида и епитаксијски полупроводници. Наши производи имају добру предност у цени и покривају многа европска и америчка тржишта. Радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер у Кини.

Пошаљи упит

Опис производа

Семицорек снабдева СиЦ Фоцус Рингс је заиста стабилан за РТА, РТП или грубо хемијско чишћење. СиЦ фокусни прстенови или ивични прстенови су дизајнирани да побољшају униформност нагризања око ивице или периметра плочице. Минимизирајте контаминацију и непланирано одржавање са компонентама високе чистоће пројектованим за строгост обраде плазма нагризањем. Наши СиЦ Фоцус прстенови са СиЦ премазом су густи премаз од силицијум карбида (СиЦ) отпоран на хабање. Има високу отпорност на корозију и топлоту, као и одличну топлотну проводљивост. СиЦ наносимо у танким слојевима на графит коришћењем процеса хемијског таложења паре (ЦВД).

Параметри СиЦ фокусних прстенова

Главне спецификације ЦВД-СИЦ премаза
СиЦ-ЦВД својства
Кристална структура	ФЦЦ И² фаза
Густина	г/цм ³	3.21
Тврдоћа	Викерсова тврдоћа	2500
Величине зрна	И¼м	2~10
Хемијска чистоћа	%	99.99995
Топлотни капацитет	Ј·кг-1 ·К-1	640
Температура сублимације	℃	2700
Фелекурал Стренгтх	МПа (РТ 4 тачке)	415
Иоунг'с Модулус	Гпа (4пт савијање, 1300а)	430
Термичка експанзија (Ц.Т.Е)	10-6К-1	4.5
Топлотна проводљивост	(В/мК)	300

Карактеристике СиЦ фокусних прстенова

- ЦВД премази од силицијум карбида за побољшање радног века.

- Топлотна изолација од пречишћеног чврстог угљеника високих перформанси.

- Угљен/угљен композитни грејач и плоча. - Графитна подлога и слој силицијум карбида имају високу топлотну проводљивост и одлична својства расподеле топлоте.

- Графит и СиЦ премаз високе чистоће за отпорност на рупице и дужи век трајања