СИЦ Епитаки модул

Семицорек СИЦ Епитаксијални модул, израђен из премиум оцене, СИЦ пресвучен графит, део је епитаксној опреми која је развијена да издржи најтежи елементи силицијумског карбида (СИЦ-а) процеса епитаксије. Овај модул је намењен високој температури у хемијској вапони (ЦВД) апликацијама, важна је компонента у демонстрирању стабилности и подршке вафлама током епитаксијалног раста висококвалитетног СИЦ-а високог квалитета СИЦ-а. Семицорек СИЦ модул је ефикасан основни материјал за поуздану и понову производњу епитаксијалног материјала у складу са квалитетним спецификацијама СИЦ-а.

Семицорек Сиц модул је графит супстрат прекривен густим и једноличним слојем плоча силицијум карбида и отпоран је на контаминацију честица и корозију чак и у најтежим процесним хемијским деловима. СИЦ премаз забрањује контаминацију и ерозију основног графита и пружити значајну механичку подршку и заштиту до 1600 ° Ц. СИЦ модул комбинује снагу и израду графита са укупним одељењем, корозивним и хемијским својствима силицијум карбида, што га чини најприкладнијим модулом у погледу трајности у оштрој епитаксној атмосфери.

Модул је дизајниран да обезбеди јединствени топлотни профил, док минимизира димензионалну промену током топлотног бициклистичког процеса. Ова топлотна униформност и стабилност су од суштинског значаја за одржавање резина и униформности епитаксије. Ако се вафли одржава стабилно место са високом топлотном проводљивошћу, тада ће термички услови преко прераде бити уједначени, који позитивно утиче на принос, квалитет кристала и време за паузу и застанак.

СИЦ Епитаксијални модул је компатибилан са неколико епитаксијалних реактора, укључујући хот-зид и хладњак и има могућност да се прилагоди обликују и димензијама да би се прилагодили специфичним реакторима и потребама купаца. СИЦ Епитаксијални модул је добро прилагођен, али није ограничен на 4-инчни, 6-инчни, и налазе се 8-инчни напиши СИЦ епитаксије. Због велике чистоће и оптимизоване геометрије СИЦ Епитаксијалног модула, физичко уплитање је минимизирано у свом утицају на динамику протока гаса и термичким градиентима који подржавају више контролисанији раст епитаксијалног слоја.

Семицорек-ове епитаксијалне модуле СИЦ представљају највиши квалитетни део у ексцентричној скупштини. Поред протокола високог квалитета, Семицорек користи најновије методе премаза да примене униформне, густе и ниске и ниско-оутгассинг СИЦ филмове. Семицорек има дугу историју керамичких премаза високих перформанси и графитску обраду идентификационих процеса које пружају најбољи могући живот, доследност и стабилност производа од серије до серије.

У брзо развијајућем пољу СИЦ уређаја напада, где квалитет материјала директно утиче на перформансе уређаја, епитакАциони модул није само потрошни - то је критичан материјал. СИЦ пресвучен графички епитаксијални модул из Семицорек-а нуди робусно, поуздано решење за купце који желе да гурају границе ефикасности, приноса и економичности у СИЦ епитакци.