СиЦ Дисц рисивер

Са дубоком посвећеношћу квалитету и иновацијама, Семицорек-ов ултра-чисти СиЦ Дисц Сусцептор поставља нови стандард за перформансе у опреми за епитаксију, МОЦВД и РТП. Комбинацијом изузетне отпорности на топлотни удар, супериорне топлотне проводљивости, изузетне хемијске отпорности и ултра-високе чистоће, ове пројектоване компоненте оснажују произвођаче полупроводника да постигну неупоредиву ефикасност, поузданост и квалитет производа. Семицорек-ова прилагодљива решења додатно обезбеђују да свака апликација за термичку обраду има користи од оптимизованих, прецизно пројектованих компоненти дизајнираних да задовоље његове јединствене захтеве.

Изузетна отпорност на топлотни удар:СиЦ Дисц Сусцептор одлично подноси брзе температурне флуктуације, које су уобичајене у РТП и другим високотемпературним процесима. Ова изузетна отпорност на топлотни удар обезбеђује структурални интегритет и дуговечност, минимизирајући ризик од оштећења или квара услед наглих промена температуре и повећавајући поузданост опреме за термичку обраду.

Супериорна топлотна проводљивост:Ефикасан пренос топлоте је критичан у применама термичке обраде. Одлична топлотна проводљивост СиЦ Дисц Сусцептора обезбеђује брзо и равномерно грејање и хлађење, што је неопходно за прецизну контролу температуре и уједначеност процеса. Ово доводи до побољшане ефикасности процеса, смањеног времена циклуса и квалитетнијих полупроводничких плочица.

Изузетна хемијска отпорност:СиЦ Дисц Сусцептор пружа изузетну отпорност на широк спектар корозивних и реактивних хемикалија које се користе у процесима епитаксије, МОЦВД и РТП. Ова хемијска инертност штити основни графит од деградације, спречава контаминацију процесног окружења и обезбеђује доследне перформансе током дужих оперативних периода.

Ултра-висока чистоћа: СиЦ Дисц Сусцептор је произведен према ултра-високим стандардима чистоће и за графит и за СиЦ премаз, избегавајући могућност контаминације и обезбеђујући производњу полупроводничких уређаја без кварова. Ова посвећеност чистоћи значи веће приносе и побољшане перформансе уређаја.

Доступност сложених облика:Напредне производне могућности у Семицорек-у омогућавају производњу СиЦ Дисц Сусцептора у сложеним облицима прилагођеним специфичним захтевима купаца. Ова флексибилност омогућава дизајн прилагођених решења која задовољавају прецизне потребе различитих примена термичке обраде, повећавајући ефикасност процеса и компатибилност опреме.

Користи се у оксидирајућим атмосферама:Робусни ЦВД СиЦ премаз пружа одличну заштиту од оксидације, омогућавајући СиЦ Дисц Сусцептору да поуздано ради у оксидирајућим срединама. Ово проширује њихову применљивост на шири спектар термичких процеса, осигуравајући свестраност и прилагодљивост.

Чврсте, поновљиве перформансе:Дизајниран за окружења са високом температуром и вакуумом, СиЦ Дисц Сусцептор нуди робусне и поновљиве перформансе. Његова издржљивост и конзистентност чине их идеалним за критичне примене термичке обраде, смањујући застоје, трошкове одржавања и осигуравајући дугорочну оперативну поузданост.

Семицорек је специјализован за прилагођавање компоненти обложених ЦВД СиЦ-ом како би се задовољиле различите потребе опреме за термичку обраду, укључујући:

дифузори:Повећајте униформност дистрибуције гаса и конзистентност процеса.

изолатори:Обезбеђује топлотну изолацију и заштиту у окружењима са високим температурама.

Друге прилагођене термичке компоненте:Прилагођена решења дизајнирана да задовоље специфичне захтеве процеса и оптимизују перформансе опреме.