Напредна својства материјала Семицорек СиЦ дифузионих пећи, укључујући високу чврстоћу на савијање, изузетну отпорност на оксидацију и корозију, високу отпорност на хабање, низак коефицијент трења, врхунска механичка својства при високим температурама и ултра-високу чистоћу, чине је незаменљивим у индустрији полупроводника. , посебно за примену у дифузионим пећима. Ми у Семицорек-у смо посвећени производњи и снабдевању СиЦ дифузионих цеви високих перформанси које спајају квалитет са економичношћу.**
Висока чврстоћа на савијање: Семицорек СиЦ цев за дифузиону пећ има чврстоћу на савијање која прелази 200 МПа, обезбеђујући изузетне механичке перформансе и структурни интегритет у условима високог напрезања типичним за процесе производње полупроводника.
Изузетна отпорност на оксидацију: Ове СиЦ цеви за дифузионе пећи показују супериорну отпорност на оксидацију, најбољу међу свим неоксидном керамиком. Ова карактеристика обезбеђује дугорочну стабилност и перформансе у окружењима са високим температурама, смањујући ризик од деградације и продужавајући радни век цеви.
Одлична отпорност на корозију: Хемијска инертност СиЦ цеви за дифузиону пећ пружа одличну отпорност на корозију, што ове цеви чини идеалним за употребу у тешким хемијским окружењима која се често сусрећу у обради полупроводника.
Висока отпорност на хабање: СиЦ цев за дифузиону пећ је веома отпорна на хабање, што је кључно за одржавање стабилности димензија и смањење захтева за одржавањем током дужих периода употребе у абразивним условима.
Низак коефицијент трења: Низак коефицијент трења СиЦ цеви за дифузиону пећ смањује хабање и на цевима и на плочицама, обезбеђујући несметан рад и минимизирајући ризик од контаминације током обраде полупроводника.
Супериорна механичка својства при високим температурама: СиЦ дифузиона цев за пећи показује најбоља механичка својства при високим температурама међу познатим керамичким материјалима, укључујући изузетну чврстоћу и отпорност на пузање. Ово га чини посебно погодним за апликације које захтевају дуготрајну стабилност на повишеним температурама.
Са ЦВД премазом: СиЦ премаз Семицорек хемијским таложењем паре (ЦВД) постиже ниво чистоће већи од 99,9995%, са садржајем нечистоћа испод 5ппм и штетним металним нечистоћама испод 1ппм. Процес ЦВД облагања осигурава да цеви испуњавају строге захтеве за вакуумску непропусност од 2-3Торр, што је неопходно за окружења високопрецизне производње полупроводника.
Примена у дифузионим пећима: Ове СиЦ цеви за дифузионе пећи су посебно дизајниране за употребу у дифузионим пећима, где играју кључну улогу у процесима на високим температурама као што су допинг и оксидација. Њихова напредна својства материјала обезбеђују да могу да издрже захтевне услове ових процеса, чиме се повећава ефикасност и поузданост производње полупроводника.