Дискови за преусмеравање гаса обложени СиЦ-ом

Стојећи као добар пример напредних материјала за полупроводнике и најсавременије производне технологије, СемицорекСиЦ-цоатедДискови за одвод гаса су прецизно произведени од графита високе чистоће као њихове матрице са густим СиЦ премазом путем хемијског таложења паре. Дискови за одвођење гаса су углавном дизајнирани да равномерно расподељују реакциони гас по површини плочице како би се обезбедиле пуне реакције током обраде, чиме се олакшава формирање конзистентних и униформних једнокристалних танких филмова.

Предности дискова за одвођење гаса обложених Семицорек СиЦ

1.Висока чистоћа материјала

Семицорек подржава строге стандарде квалитета производа почевши од пажљивог одабира материјала. Захваљујући овој стриктној контроли чистоће сировог материјала, дискови за одвођење гаса обложени Семицорек-ом СиЦ испоручују низак садржај нечистоћа и могу се похвалити изузетном чистоћом. Ово може значајно спречити јоне метала и друге загађиваче да угрозе епитаксијалне процесе полупроводника.

2.Супериорна термичка стабилност

Компоненте које се користе у овим системима морају имати изузетну термичку стабилност јер полупроводничка епитаксијална опрема обично ради на температурама изнад 1400°Ц. Ова изузетна термичка стабилност може да обезбеди да дискови за преусмеравање гаса обложени Семицорек СиЦ издрже изазовне услове рада на високим температурама и могу ефикасно спречити ослобађање нечистоћа узроковано високом температуром током рада, што помаже да се гарантује квалитет и принос епитаксијалних плочица.

3. Изузетна отпорност на корозију на високим температурама

Незаштићене графитне матрице су склоне корозији и стварању честица, због чега се дискови за одвођење гаса обично третирају премазом од силицијум карбида како би се побољшала њихова отпорност на корозију. Прекривени густим слојем СиЦ,  Дискови за преусмеравање гаса обложени Семицорек СиЦ нуде одличну отпорност на оксидацију и хемијску корозију, што им омогућава да стабилно функционишу током дугог радног века чак и под изазовним радним условима високе температуре и корозије.

4.Флексибилне могућности прилагођавања

Семицорек је опремљен са вишеструком напредном опремом за обраду, као што је ЦНЦ машина за обраду, машине за брушење површине и опрема за ултразвучно бушење,   нудећи искусне могућности обраде. Семицорек је у могућности да понуди флексибилне услуге прилагођавања према цртежима купаца и прилагоди димензије, толеранције, равност површине, пречнике рупа и размаке рупа дискова за преусмеравање гаса обложених СиЦ-ом како би обезбедио беспрекорну компатибилност са епитаксијалном опремом купаца.