Епитаксијални сусцептори обложени СиЦ

Семицорек СиЦ обложени епитаксијални пријемници су основне компоненте које се користе у процесу епитаксијалног раста полупроводника за стабилну подршку и фиксирање полупроводничких плочица. Користећи зреле производне могућности и најсавременије производне технологије, Семицорек је посвећен снабдевању водећих на тржишту епитаксијалних пријемника обложених СиЦ-ом по конкурентним ценама за наше цењене купце.

Пошаљи упит

Опис производа

Семицондуцторподлогене може се поставити директно на базу у МОЦВД или ЦВД опреми током епитаксијалног таложења због утицаја више критичних фактора, укључујући смер протока гаса (хоризонтални и вертикални), температуру, притисак, фиксацију супстрата и контаминацију честицама. Из тог разлога, епитаксијални пријемници морају бити позиционирани у центру реакционе коморе у МОЦВД/ЦВД системима како би подржали и осигурали полупроводничке супстрате, чиме се спречава деградација квалитета раста епитаксија узрокована вибрацијама или померањем положаја.

Графит високе чистоће се користи као материјал матрице за СемицорекЕпитаксијални пријемници обложени СиЦ, са премазом од силицијум карбида који је нанесен на њихову површину напредним ЦВД техникама. Епитаксијални пријемници обложени Семицорек СиЦ су незаменљиве компоненте у процесу формирања епитаксијалног слоја. Њихова примарна улога је да обезбеде стабилно и контролисано радно окружење за раст епитаксијалних слојева на полупроводничким подлогама, који на тај начин могу обезбедити конзистентност квалитета површине плочице.

Карактеристике епитаксијалних пријемника обложених Семицорек СиЦ

1. Изузетна отпорност на високе температуре да издржи радне услове од 1600℃.

2. Висока топлотна проводљивост, пружа брз пренос топлоте како би се одржала уједначена дистрибуција температуре на полупроводничким подлогама.

3. Снажна отпорност на хемијску корозију да се одупре хемијској деградацији и корозији, избегавајући процесну контаминацију супстрата и епитаксијалних слојева.

4.Супериорна отпорност на топлотни удар да би се избегла појава пуцања премаза и деламинације.

5. Изузетна равност површине, добро пријања уз подлоге које минимизирају празнине и недостатке.

6. Дужи радни век, смањење времена и економских губитака узрокованих заменом и одржавањем делова.

Примене епитаксијалних пријемника обложених Семицорек СиЦ

Са вишеструким одличним предностима, епитаксијални пријемници обложени Семицорек-ом СиЦ играју кључну улогу у омогућавању равномерног и контролисаног раста епитаксијалних танких филмова и широко се примењују у процесу епитаксијалног раста полупроводника.

1.ГаН епитаксијални раст

2.СиЦ епитаксијални раст

3.Си епитаксијални раст