СиЦ керамичка вакуумска стезна глава

Док теже Муровом закону, објектима за производњу полупроводника су потребне платформе за држање плочица које могу да издрже тешке механичке силе и остану равне, без избочина или падова. Семицорек СиЦ керамичка вакуумска стезна глава пружа савршено решење за замену традиционалних стезних глава од алуминијума и нерђајућег челика; они ће обезбедити неопходан однос крутости према тежини и неће реаговати хемијски, а обе су неопходне за обраду плоча од 300 мм и више.

1. Предности материјала коришћењем синтерованог густог силицијум карбида (ССиЦ).

Основна компонента нашегСиЦ ЦерамицВакуумска стезна глава је синтерованаСилицијум карбид, материјал дефинисан својом веома снажном ковалентном везом. Наш ССиЦ није порозан или реакционо повезан; радије, синтерује се на > 2000 степени Целзијуса да би се постигла скоро теоретска густина (> 3,10 г/цм3) — једноставно речено, чвршћа је од других материјала који се користе за производњу вакуумских стезаљки.

Изузетна механичка крутост.

Јангов модул ССиЦ је приближно 420 ГПа, што га чини много тврђим од глинице (приближно 380 ГПа). Због овог високог модула еластичности, наше стезне главе ће остати стабилне у условима вакуума и велике брзине ротације и неће се деформисати; према томе, облатне се неће „чупати“ (тј. искривити) и увек ће остварити уједначен контакт преко целе површине.

Термичка стабилност и низак ЦТЕ

У процесима који укључују УВ светло високог интензитета или топлоту изазвану трењем, термичко ширење може довести до грешака преклапања. Наше СиЦ стезне главе поседују низак коефицијент термичке експанзије (ЦТЕ) од 4,0 к 10^{-6}/К, заједно са високом топлотном проводљивошћу (>120В/м·К). Ова комбинација омогућава да стезна глава брзо одводи топлоту, одржавајући стабилност димензија током дуготрајних циклуса литографије или метрологије.

2. Прецизно инжењерство и пројектовање

Као што је видљиво на слици производа, наше вакуумске стезне главе имају сложену мрежу концентричних и радијалних вакуумских канала. Они су ЦНЦ машински обрађени са изузетном прецизношћу како би се обезбедило равномерно усисавање преко плочице, минимизирајући локализоване тачке напрезања које могу довести до лома плочице.

Суб-микронска равност: Користимо напредне технике брушења и преливања дијаманата да бисмо постигли глобалну равност од <1μм. Ово је кључно за одржавање фокусне дубине потребне за напредне литографске чворове.

Лагана тежина (опционо): Да бисмо прилагодили степене високог убрзања у степерима и скенерима, нудимо унутрашње саћасте „лаке“ структуре које смањују масу без угрожавања структуралне крутости.

Зарези за поравнање периметра: Интегрисани зарези омогућавају беспрекорну интеграцију са роботским крајњим ефекторима и сензорима за поравнање унутар алата за процес.

3. Критичне примене у ланцу снабдевања полупроводницима

Наше СиЦ керамичке вакуумске главе су индустријски стандард за:

Разређивање и млевење плочица (ЦМП): Обезбеђује чврсту подршку неопходну за стањивање плочица до нивоа микрона без ломљења ивица.

Литографија (степери/скенери): Делује као ултра равна „фаза“ која обезбеђује прецизно ласерско фокусирање за чворове испод 7нм.

Метрологија и АОИ: Обезбеђивање да су плочице савршено равне за инспекцију високе резолуције и мапирање дефеката.

Резање плочица на коцкице: Обезбеђује стабилно усисавање током механичких или ласерских операција велике брзине.

У Семицорек-у разумемо да је вакуумска стезна глава добра онолико колико је добра њена површина. Свака стезна глава пролази кроз вишестепени процес контроле квалитета:

Ласерска интерферометрија: За проверу равности по целом пречнику.

Испитивање цурења хелијума: Обезбеђивање да су вакуумски канали савршено затворени и ефикасни.

Чишћење чистих просторија: Обрађено у окружењима класе 100 како би се обезбедила нулта метална или органска контаминација.

Наш инжењерски тим блиско сарађује са произвођачима ОЕМ алата да би прилагодили шаблоне утора, димензије и интерфејсе за монтажу. Одабиром Семицорек-а, улажете у компоненту која смањује време застоја, побољшава тачност преклапања и смањује укупне трошкове власништва кроз екстремну издржљивост.