СиЦ керамичка роботска рука

СиЦ керамикароботска рукасе користи у вишеструким процесима производње полупроводничких плочица, играјући важну улогу у обезбеђивању квалитета и ефикасности производње плочице. Обично се инсталира унутар и изван комора различите полупроводничке опреме, као што су машине за јеткање, опрема за таложење, машине за литографију, опрема за чишћење, директно учествујући у руковању и позиционирању полупроводничких плочица. 

Полупроводничке плочице су лако контаминиране честицама, тако да се њихови производни процеси углавном одвијају у чистој и вакуумској полупроводничкој опреми. У стварном раду, као суштинска компонента такве опреме, СиЦ керамичка роботска рука долази у директан контакт са полупроводничким плочицама и такође мора испунити ултра-високе захтеве за чистоћом. Семицорек-ова СиЦ керамичка роботска рука је направљена од силицијум карбидне керамике високих перформанси праћеног прецизном завршном обрадбом површине и третманом чишћења, који може прецизно да испуни строге захтеве производње полупроводника за чистоћу и равност површине. Ово значајно доприноси смањењу дефекта плочице и побољшању приноса производње вафла.

СиЦ керамикароботска рука је оптимална опција за поступке топлотне обраде као што су жарење, оксидација и дифузија. Због изузетне термичке стабилности и супериорне отпорности на топлотни удар материјала од силицијум карбида, СиЦ керамичка роботска рука је у стању да поуздано ради у дужем временском периоду у условима високе температуре. Може да се одупре утицају топлотног ширења и очува свој структурни интегритет под термичким напрезањем, чиме се обезбеђује доследна тачност позиционирања плочице.

Захваљујући својој робусној отпорности на корозивне гасове и течности, СиЦ керамичка роботска рука може стабилно да одржи своје перформансе чак и када је изложена агресивним корозивним процесним атмосферама као што су јеткање, таложење танког филма и имплантација јона. Ове перформансе отпорности на корозију побољшавају ефикасност производње полупроводничких плочица ефективно смањујући ризик од оштећења компоненти повезаних са корозијом и смањујући потребу за честим заменама и одржавањем.