Сиц керамички чамци

Семицорек сиц керамички чамци су најсавременији превозници посебно дизајнирани да би се безбедно превозили, складишти и обрађују полуводичке вафере у најзахтевнијим хемијски и термички екстремним окружењима. Индустрија полуводича брзо је усвојила нове стандарде перформанси који су захтевали поуздано, поуздано, без контаминације и без критичних потреба за модерним процесима одликивања модерне важерије.

Снажна топлотна стабилност и снага

Дефинисање атрибута СИЦ керамичких бродица је његова веома висока топлотна стабилност. Сиц керамички чамци могу издржати температуру у вишку од 1600 ° Ц без губитка облика или структуре током агресивних топлотних бициклистичких процеса. Због ултра-ниског коефицијента топлотног експанзије, сички керамички чамци мање су склони изобличењу и пуцању, омогућавајући уска толеранције и целокупну сигурност од вожње током руковања под круг под високим условима.

Висока чистоћа и хемијска отпорност

СИЦ керамички чамци су измишљени из ултра-високе силицијум силиконског карбида. СИЦ керамички чамци су такође веома отпорни на хемијску деградацију, корозивну и еродирајућу плазму. Инертна природа СИЦ керамичких бродова значи процесе корозивних гасова, реактивне окружења, киселе услове би се формирало никакву контаминацију брода или ништа растворљиво да наштети радном процесу. Нетарно површина си-керамичких чамаца омогућава стварање честица или јонским испирањем, тако да се површина резине не угрожава нечистоће које ометају перформансе или принос уређаја.

Прецизни инжењеринг за сигурно и сигурно руковање вафром

СИЦ керамички чамци се производе у уским толеранцијама, омогућавајући им да се обрађују вафлама различитих пречника, укључујући 100 мм, 150 мм, 200 мм, 300 мм и више. Структурни дизајн сиц бродица пружа одличну равност, паралелизам и уједначену величину утора за одржавање одговарајуће оријентације за лампице и заштити ивице резета приликом преноса на други поступак или алат. Сви СИЦ чамци могу се дизајнирати са прилагођеним димензијама како би се одговарали постављеном алату или испуњени било које спецификације аутоматизације.

Дуг век и економичнији ефикаснији

Сиц замењује традиционалне материјале (кварц, глиница) са значајно побољшаном механичком чврстоћом, жилавошћу прелома и топлотном отпором на топлотној ударци. Овај ниво издржљивости преводи на дужи животни век пре "неуспеха", знатно мање заменика током рада и нижих укупних трошкова власништва. Доследност у перформансама издржљивости СИЦ-а смањиће време и убрзавање пропусности на линије за производњу полуводича.

Отворене апликације у поступцима полуводича

Сиц керамички чамци се широко користе у предњим поступцима полуводича као што су:

ЛПЦВД и ПЕЦВД

Топлотна оксидација

ИОН имплантација

Жнељење и дифузија

Режите се чишћења и хемијске обраде

Сиц керамичке ручке имају компатибилне апликације за обраду у атмосфери и вакуумским коморама, чинећи га идеалним избором за лиске и фабсове који желе да минимизирају и смање ризик од контаминације током побољшања продуктивности.