СиЦ конзолно весло

Семицорек СиЦ (силицијум карбид) конзолна лопатица је кључна компонента која се користи у процесима производње полупроводника, посебно у дифузионим или ЛПЦВД (Лов-прессуре Цхемицал Вапор Депоситион) пећима током процеса као што су дифузија и РТП (брза термичка обрада). Служи за подупирање и транспорт облата унутар процесне цеви ових пећи.

Семицорек СиЦ конзолна лопатица се првенствено састоји од силицијум карбида, робусног и термички стабилног материјала познатог по отпорности на високе температуре и одличним механичким својствима. СиЦ је изабран због своје способности да издржи тешке услове на које се сусрећу у високотемпературним процесним окружењима у полупроводничким пећима. Дизајн СиЦ конзолне лопатице омогућава да се протеже у процесну цев пећи док је чврсто причвршћен на једном крају изван цеви. Овај дизајн обезбеђује стабилност и подршку плочицама које се обрађују док минимизира сметње у термичком окружењу унутар пећи.

СиЦ конзолна лопатица служи за безбедно ношење полупроводничких плочица унутар процесне цеви током различитих процеса на високим температурама као што су дифузија и РТП. Његова робусна конструкција осигурава да може издржати екстремне температуре и хемијска окружења на која се сусрећу током ових процеса без деградације или квара. СиЦ конзолне лопатице су дизајниране да буду компатибилне са широким спектром величина и облика полупроводничких плочица који се обично користе у индустрији. Често су прилагодљиви да би се прилагодили специфичним конфигурацијама пећи и захтевима процеса.