СиЦ Боат

Семицорек СиЦ чамци су педантно израђени од СиЦ керамике високе чистоће, материјала који се слави по својој неупоредивој термичкој стабилности, изузетној механичкој чврстоћи и непоколебљивој хемијској инертности. Ови квалитети га чине савршеним избором за ригорозне услове производње полупроводника.

СиЦ чамци се могу похвалити неупоредивом механичком чврстоћом и издржљивошћу, захваљујући тврдоћи материјала и изузетној отпорности на хабање. Ово им омогућава да издрже захтевну природу окружења за производњу полупроводника високе пропусности без подлегања постепеном хабању. За разлику од других материјала, СиЦ задржава свој структурни интегритет током времена, значајно смањујући потребу за честим заменама и минимизирајући застоје у производним операцијама – што на крају доводи до значајних уштеда трошкова за произвођаче полупроводника.

Хемијска инертност СиЦ-а додатно учвршћује његову погодност за полупроводничке процесе тако што га чини високо отпорним на хемијске нападе реактивних гасова и уобичајених материјала као што су хлор и флуор. Ова робусна отпорност осигурава да СиЦ чамци не контаминирају плочице током обраде, чиме се одржавају чистоћа и квалитет полупроводничких уређаја који се производе. За процесе који захтевају још већи ниво хемијске отпорности, СиЦ чамци могу бити премазани додатним слојем СиЦ, дајући додатну баријеру против хемијског напада и подижући завршну обраду чамца како би се смањио ризик од контаминације честицама.

Висока чистоћа СиЦ керамике која се користи у овим чамцима је критична, јер производња полупроводника захтева материјале са минималним нечистоћама. Чак и количине загађивача у траговима могу нарушити електрична својства плочица и довести до кварова у коначним уређајима. СиЦ чамци су пројектовани од СиЦ керамике ултра високе чистоће како би се осигурало да не уносе нечистоће у процесно окружење, чак и при повишеним температурама и реактивним условима типичним за производњу полупроводника. Ова чистоћа учвршћује поузданост СиЦ бродова за критичне кораке процеса.

Компатибилност СиЦ бродова са различитим полупроводничким уређајима је најважнија. Свестраност СиЦ-а омогућава да се прецизно обрађује како би се уклопио у специфичне димензије и конфигурације које захтевају различите врсте полупроводничких пећи и реактора, што их чини погодним за широк спектар примена, од малих истраживања и развојних операција до великих производних линија. Поред тога, изузетна својства топлотне проводљивости и дисипације топлоте материјала доприносе ефикаснијој контроли температуре током обраде, додатно побољшавајући перформансе и принос полупроводничких уређаја.