Семицорек РТА СиЦ носачи плочица су основни алати за ношење плочице, који су посебно дизајнирани за брзи процес термичког жарења у производњи полупроводника. Семицорек РТА СиЦ носачи плочица су оптимална решења за брзи процес термичког жарења, који могу помоћи у побољшању приноса производње полупроводника и побољшању перформанси полупроводничких уређаја.
Брзо термичко жарење је техника термичке обраде која се широко користи у производњи полупроводника. Користећи халогене инфрацрвене лампе као извор топлоте, брзо загрева плочице или полупроводничке материјале на температуре између 300 ℃ и 1200 ℃ са изузетно великом брзином загревања, након чега следи брзо хлађење. Брзи процес термичког жарења може елиминисати заостало напрезање и дефекте унутар плочица и полупроводничких материјала, побољшавајући квалитет материјала и перформансе. РТА СиЦ носачи плочица су незаменљива компонента за ношење која се широко користи у РТА процесу, која може стабилно да подржи плочице и полупроводничке материјале током рада и обезбеђује конзистентан ефекат термичке обраде.
Семицорек РТА СиЦ носачи плочица пружају одличну механичку чврстоћу и тврдоћу и способни су да издрже различита механичка напрезања под тешким РТА условима док остају димензионално стабилни и издржљиви. Са њиховом одличном тврдоћом, површина РТА СиЦ носача плочица је мање склона огреботинама, што обезбеђује равну, глатку потпорну површину која ефикасно спречава оштећење плочице узроковано огреботинама носача.
Семицорек РТА СиЦ носачи плочица поседују изузетну топлотну проводљивост, што им омогућава да ефикасно распршују и проводе топлоту. Они могу пружити прецизну контролу температуре током брзе термичке обраде, што значајно смањује ризик од термичког оштећења плочица и побољшава униформност и конзистентност процеса жарења.
Силицијум карбид има тачку топљења од око 2700°Ц и одржава изузетну стабилност на континуираним радним температурама од 1350–1600°Ц. Ово даје СемицорекРТА СиЦ носачи плочицасупериорна термичка стабилност за високе температуре РТА радне услове. Поред тога, са својим ниским коефицијентом топлотног ширења, Семицорек РТА СиЦ носачи вафла могу избећи пуцање или оштећење узроковано неуједначеним термичким ширењем и контракцијом током брзих циклуса загревања и хлађења.
Направљено од пажљиво одабраних производа високе чистоћесилицијум карбида, Семицорек РТА СиЦ носачи плочица имају низак садржај нечистоћа. Захваљујући њиховој изузетној хемијској отпорности, носачи плочица Семицорек РТА СиЦ су у стању да избегну корозију од процесних гасова током брзог термичког жарења, чиме се минимизира контаминација плочице узрокована реактантима и испуњавају строге захтеве за чистоћу производних процеса полупроводника.