Робот Енд Еффецтор

Семицорек је водећи независни произвођач графита обложеног силицијум карбидом, прецизно обрађеног графита високе чистоће, фокусирајући се на области производње полупроводника обложене силицијум карбидом, керамику од силицијум карбида, МОЦВП. Наш Робот Енд Еффецтор има добру предност у цени и покрива многа европска и америчка тржишта. Радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер у Кини.

Пошаљи упит

Опис производа

Робот Енд Еффецтор је роботова рука која помера полупроводничке плочице између позиција у опреми за обраду плочица и носача. Робот Енд Еффецтор мора бити димензионо прецизан и термички стабилан, док има глатку површину отпорну на хабање за безбедно руковање плочицама без оштећења уређаја или стварања контаминације честицама. Наш Робот Енд Еффецтор премаз високе чистоће од силицијум карбида (СиЦ) пружа врхунску отпорност на топлоту, чак и термичку униформност за конзистентну дебљину и отпорност епи слоја, као и трајну хемијску отпорност.

Параметри крајњег ефектора робота

Главне спецификације ЦВД-СИЦ премаза
СиЦ-ЦВД особине
Цристал Струцтуре	ФЦЦ β фаза
Густина	г/цм ³	3.21
Тврдоћа	Викерсова тврдоћа	2500
Величина зрна	μм	2~10
Хемијска чистоћа	%	99.99995
Топлотни капацитет	Ј кг-1 К-1	640
Сублиматион Температуре	℃	2700
Фелекурал Стренгтх	МПа (РТ 4 тачке)	415
Јангов модул	Гпа (4пт савијање, 1300℃)	430
Термичка експанзија (Ц.Т.Е)	10-6К-1	4.5
Топлотна проводљивост	(В/мК)	300