Робот Енд Еффецтор

Семицорек је водећи независни произвођач графита обложеног силицијум карбидом, прецизно обрађеног графита високе чистоће, фокусирајући се на области производње полупроводника обложене силицијум карбидом, керамику од силицијум карбида, МОЦВП. Наш Робот Енд Еффецтор има добру предност у цени и покрива многа европска и америчка тржишта. Радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер у Кини.

Пошаљи упит

Опис производа

Робот Енд Еффецтор је рука робота која помера полупроводничке плочице између позиција у опреми за обраду плочица и носача. Робот Енд Еффецтор мора бити димензионо прецизан и термички стабилан, док има глатку површину отпорну на хабање за безбедно руковање плочицама без оштећења уређаја или стварања контаминације честицама. Наш Робот Енд Еффецтор премаз високе чистоће од силицијум карбида (СиЦ) обезбеђује врхунску отпорност на топлоту, чак и топлотну униформност за конзистентну дебљину и отпорност епи слоја, као и трајну хемијску отпорност.

Параметри крајњег ефектора робота

Главне спецификације ЦВД-СИЦ премаза
СиЦ-ЦВД својства
Кристална структура	ФЦЦ И² фаза
Густина	г/цм ³	3.21
Тврдоћа	Викерсова тврдоћа	2500
Величине зрна	И¼м	2~10
Хемијска чистоћа	%	99.99995
Топлотни капацитет	Ј·кг-1 ·К-1	640
Температура сублимације	℃	2700
Фелекурал Стренгтх	МПа (РТ 4 тачке)	415
Иоунг'с Модулус	Гпа (4пт савијање, 1300а)	430
Термичка експанзија (Ц.Т.Е)	10-6К-1	4.5
Топлотна проводљивост	(В/мК)	300