Порозне СиЦ вакуумске стезне главе

Семицорек порозни СиЦвакуумске стезне главесу незаменљиве компоненте, које су у могућности да се интензивно користе у напредним процесима производње полупроводника, као што су стањивање плочица, коцкице, брушење, полирање, фотолитографија, гравирање. Њихова адсорпциона платформа је конструисана од порозне СиЦ керамичке плоче са бројним равномерно распоређеним порама у микронској скали. Са константним пречником пора и изузетном брзином пролаза кроз рупе, Семицорек порозне СиЦ вакуумске стезне главе обезбеђују глатки пут гаса за вакуумску евакуацију. Током рада, стабилан и уједначен негативан притисак се ствара између стезне главе и плочице, омогућавајући високо ефикасно вакуумско стезање и ослобађање полупроводничких плочица.

Предности Семицорек порозних СиЦ вакуумских стезаљки 

1. Изузетна прецизност обраде

Полупроводничке плочице обрађене у напредној производњи полупроводника су изузетно танке, тако да чак и благо савијање, вибрације или неуједначено локално напрезање могу довести до лома плочице, савијања и смањене тачности у критичним процесима као што је литографија. Семицорекпорозни СиЦвакуумске стезне главе се обрађују високо прецизним брушењем и полирањем, постижући савршену храпавост површине од Ра < 0,1 μм. Ово омогућава Семицорек порозним СиЦ вакуумским стезаљкама да обезбеде оптимизовану радну површину за високо прецизну производњу полупроводника.

2. Висока чистоћа и висока отпорност на корозију

Да би у потпуности испунио строге стандарде чистоће полупроводника, Семицорек производи порозне СиЦ вакуумске стезне главе са сировинама од силицијум карбида високе чистоће путем синтеровања на високим температурама. Ово осигурава да стезне главе немају осипање честица и металне контаминације које се могу мигрирати. Користећи одличну хемијску стабилност СиЦ, Семицорек порозне СиЦ вакуумске стезне главе су у стању да издрже оштра корозиона окружења и не стварају додатне нуспроизводе, што их чини веома погодним за процесе производње чистих полупроводника високог квалитета.

3. Одлична издржљивост и дугорочна стабилност

Вакумске стезне главе које се користе у производним линијама морају да издрже хиљаде циклуса адсорпције и ослобађања, као и дуготрајне температурне флуктуације. Ово намеће изузетно високе захтеве за материјалне перформансе вакуумских стезаљки. Семицорек порозне СиЦ вакуумске стезне главе имају изузетну тврдоћу материјала и отпорност на хабање, са стабилним термичким ширењем. Не показују пузање или деградацију перформанси у условима високе температуре, што значајно продужава њихов радни век и смањује учесталост одржавања и замене компоненти.