Пороус Сиц Цхуцк

Семицорек Пороус Сиц Цхуцк је керамички део који је састављен са прецизношћу за сигурно, ефикасно руковање вафлама за полуводичке апликације кроз процесне кораке као што су инспекција, тестирање и литографија. Цхуцк је произведен од микропорозног керамике силицијумског карбида (СИЦ). Сиц има механичку чврстоћу, хемијску отпорност и својства топлотне стабилности потребне за врхунску производњу полуводича.

Суштинска карактеристика порозног Сиц Цхуцка је његова јединствена микроструктура, која показује порозност од 35% -40%. Порозности цхуцка чврсто контролисаног, преименовани дизајн омогућава да се усисавање усисавања равномерно поставља у цхуцк генерирајући доследну стабилну и неинтектну подршку за типично деликатне подлоге одлика: силицијум или другим јединственим полуводичима.  Начин усисавања усисавања избегава и загађење честица и механичка оштећења, на тај начин очување важећег интегритета током процеса.

Керамичко тело Цхуцка је пре свега висока чистоћа Шиц, са другом керамиком, као што је Алумина (АЛ2О3), потенцијално коришћена за ограничен број функционалних слојева у зависности од апликације. Истраживање и развој материјала омогућавају величину и дистрибуцију пора да се управља да дизајнирају проток ваздуха и силе у зависности од величина и услова процеса. Ако је важно да контролишете вакуум на разређиваним ваферима, уградиће се мања величина пора. За брже проточне стопе, где је то потребно, користиће се већа величина пора.

Порозни сиц Цхуцкс показује варијацију боја као резултат променљивих величина пора, керамичких композиција и услова за гашење. Сички стезави имају тенденцију да су црно или тамно сиви јер је боја силицијум карбида или сиви или црни, међутим ЦХУКЦИ са великим садржајем глинице обично је бело у боји. Варианцес у боји немају утицаја на перформансе производа и само представљају само пројектоване некретнине које су створене за одређене апликације да се придржавају одређених потреба купаца.

На алате за прераду на врхунцу, топлотна стабилност и хемијска инертност су две најважније функције. Силиконски карбид пружа одличну отпорност на корозивне гасове и топлотни бициклизам. Порозни СИЦ Цхуцк успешно делује у вакуумским коморама и алатима за етцх у плазми и наставља се добро сналазити са нагло мењање температура. Њихова способност да одржи стабилност диммензионалне стабилности осигурава да се реф и остане на истој локацији, иако захтеви за тачност могу бити испод под-микрона у зависности од процеса који доприноси димензионално стабилизованим тачност.

Семицорек порозни СИЦ-ови се врше користећи овлашћене процедуре формирања и синтеровања који пружају јединствену порозност, високу флексуалну снагу и ниску термичку експанзију. Свака је Цхуцк прегледана за структуру пора, равност и перформансе у вакууму како би се осигурао поуздан и поновљиви производ. Прилагођени дизајн су такође доступни за смештај специфичних величина вафла и потреба за интеграцијом система, као што су канали протока петра или монтажне карактеристике гаса или функција.

Закључно, порозни СИЦ Цхуцк је висок систем подршке за подршку поузданости који је пажљиво дизајниран да ради у сарадњи са захтевима прецизне прецизне прераде. Са високим вакуумским способностима, прилагодљивом структури пора и изванредне материјалне стабилности, то је неопходан производ у данашњој линији за измишљотине полуводича.