Семицорек Пласма обрада фокусни прстен је специјално дизајниран да задовољи високе захтеве обраде плазма нагризањем у индустрији полупроводника. Наше напредне компоненте обложене силицијум карбидом високе чистоће су направљене да издрже екстремна окружења и погодне су за употребу у различитим апликацијама, укључујући слојеве силицијум карбида и епитаксијске полупроводнике.
Наш фокусни прстен за обраду плазмом је веома стабилан за РТА, РТП или грубо хемијско чишћење, што их чини идеалним избором за употребу у коморама за плазма (или суво нагризање). Дизајнирани да побољшају униформност нагризања око ивице или периметра плочице, наши фокусни прстенови или ивични прстенови су пројектовани да минимизирају контаминацију и непланирано одржавање.
Наш СиЦ премаз је густ премаз од силицијум карбида отпоран на хабање са високим својствима отпорности на корозију и топлоту, као и одличном топлотном проводљивошћу. СиЦ наносимо у танким слојевима на графит коришћењем процеса хемијског таложења паре (ЦВД). Ово осигурава да наши СиЦ Фоцус прстенови имају врхунски квалитет и издржљивост, што их чини поузданим избором за ваше потребе обраде плазма нагризањем.
Контактирајте нас данас да бисте сазнали више о нашем фокусном прстену за обраду плазме.
Параметри фокусног прстена за обраду плазме
Главне спецификације ЦВД-СИЦ премаза |
||
СиЦ-ЦВД својства |
||
Кристална структура |
ФЦЦ И² фаза |
|
Густина |
г/цм ³ |
3.21 |
Тврдоћа |
Викерсова тврдоћа |
2500 |
Величине зрна |
И¼м |
2~10 |
Хемијска чистоћа |
% |
99.99995 |
Топлотни капацитет |
Ј·кг-1 ·К-1 |
640 |
Температура сублимације |
℃ |
2700 |
Фелекурал Стренгтх |
МПа (РТ 4 тачке) |
415 |
Иоунг'с Модулус |
Гпа (4пт савијање, 1300а) |
430 |
Термичка експанзија (Ц.Т.Е) |
10-6К-1 |
4.5 |
Топлотна проводљивост |
(В/мК) |
300 |
Карактеристике фокусног прстена за обраду плазме
- ЦВД премази од силицијум карбида за побољшање радног века.
- Топлотна изолација од пречишћеног чврстог угљеника високих перформанси.
- Угљен/угљен композитни грејач и плоча. - Графитна подлога и слој силицијум карбида имају високу топлотну проводљивост и одлична својства расподеле топлоте.
- Графит и СиЦ премаз високе чистоће за отпорност на рупице и дужи век трајања