Фокусни прстен за обраду плазме

Семицорек Пласма обрада фокусни прстен је специјално дизајниран да задовољи високе захтеве обраде плазма јеткања у индустрији полупроводника. Наше напредне компоненте обложене силицијум карбидом високе чистоће су направљене да издрже екстремна окружења и погодне су за употребу у различитим апликацијама, укључујући слојеве силицијум карбида и епитаксијске полупроводнике.

Пошаљи упит

Опис производа

Наш фокусни прстен за обраду плазмом је веома стабилан за РТА, РТП или грубо хемијско чишћење, што их чини идеалним избором за употребу у коморама за плазма (или суво нагризање). Дизајнирани да побољшају униформност нагризања око ивице или периметра плочице, наши фокусни прстенови или ивични прстенови су пројектовани да минимизирају контаминацију и непланирано одржавање.

Наш СиЦ премаз је густ, отпоран на хабање премаз од силицијум карбида са високим својствима отпорности на корозију и топлоту, као и одличном топлотном проводљивошћу. СиЦ наносимо у танким слојевима на графит коришћењем процеса хемијског таложења паре (ЦВД). Ово осигурава да наши СиЦ Фоцус прстенови имају врхунски квалитет и издржљивост, што их чини поузданим избором за ваше потребе обраде плазма нагризањем.

Контактирајте нас данас да бисте сазнали више о нашем фокусном прстену за обраду плазме.

Параметри фокусног прстена за обраду плазме

Главне спецификације ЦВД-СИЦ премаза
СиЦ-ЦВД особине
Цристал Струцтуре	ФЦЦ β фаза
Густина	г/цм ³	3.21
Тврдоћа	Викерсова тврдоћа	2500
Величина зрна	μм	2~10
Хемијска чистоћа	%	99.99995
Хеат Цапацити	Ј кг-1 К-1	640
Сублиматион Температуре	℃	2700
Фелекурал Стренгтх	МПа (РТ 4 тачке)	415
Јангов модул	Гпа (4пт савијање, 1300℃)	430
Термичка експанзија (Ц.Т.Е)	10-6К-1	4.5
Топлотна проводљивост	(В/мК)	300

Карактеристике фокусног прстена за обраду плазме

- ЦВД премази од силицијум карбида за побољшање радног века.

- Топлотна изолација од пречишћеног чврстог угљеника високих перформанси.

- Карбон/карбонски композитни грејач и плоча. - И графитна подлога и слој силицијум карбида имају високу топлотну проводљивост и одлична својства дистрибуције топлоте.

- Графит и СиЦ премаз високе чистоће за отпорност на рупице и дужи век трајања