Семицорек Планетарни суцептор је компонента високе чистоће графите са СИЦ премазом, дизајнираном за Аиктрон Г5 + реакторе како би се осигурала јединствена дистрибуција топлоте, хемијска отпорност и висока прецизност раста епитаксијачког слоја. *
Семицорек Планетарни суцептор је неопходна компонента за полуводичке епитакјске реакторе, посебно пројектоване за Аиктрон Г5 + опрему. Изграђен од графита високог чистоће ипресвучен силицијум карбидом (СИЦ), Овај суцептор гарантује врхунску топлотну стабилност, изузетну хемијску отпорност и неуспоредиве перформансе у окружењу високих температура.
Реактор Епитаксија Аиктрон Г5 + представља мјерило у индустрији за ГАН, СИЦ и други поступци за раст полуводича. Планетарни суцептор је кључ у оптимизацији тока гаса, осигуравајући прецизну ротацију вафла, одржавање тачне контроле температуре и постизање јединственог таложења епитаксијалних слојева. Његов иновативни дизајн значајно повећава поновљивост процеса, чинећи га идеалним избором за окружење високог обима.
Кључне карактеристике
- Напредна композиција материјала: израђена од високе чистоће графита са СИЦ премазом, пружајући побољшану издржљивост и отпорност на оштре услове процеса.
- Оптимизиране топлотне перформансе: Осигурава равномерну дистрибуцију топлоте, критично за раст високо прецизног слоја епитаксија.
- Хемијска отпорност: СИЦ премаз спречава графитну оксидацију, продужавање животног века и одржавање чистоће процеса.
- Прецизни инжењеринг: Дизајниран да испуни строге захтеве Аиктрон Г5 + система, обезбеђујући бешавну интеграцију и оптималну ефикасност реактора.
- Високо подробне равнотеже: Минимизира контаминацију честица, који подржава врхунски квалитет резета и већи принос у полуводичкој производњи.
Предности нашег планетарног суцептора
- Проширени радни век: ТхеСички премазЗнатно смањује хабање и суза, што резултира нижим фреквенцијама замјене и смањене оперативне трошкове.
- Побољшана стабилност процеса: Осигурава доследне грејне и минималне топлотне градијете, што доводи до висококвалитетне производње вафла.
- Компатибилност и прилагођавање: Доступно у стандардним и прилагођеним дизајну за испуњавање специфичних захтева Аиптрон Г5 +.
ГрафитДелови играју неопходну и веома важну улогу у процесу полуводича. Квалитет графичког материјала има велики утицај на квалитет готових производа. Наша конзистентност пакета и хомогеност са графитом могу се контролисати и загарантовати кроз процес производње.
1. Мала серијанска продукција, пећ за карбонизацију користи само малу пећи са само 50 кубика
2 Сваки комад материјала се надгледа и прати
3. МУЛТИ-ТОЧКУ МОНИТОРИНГ ТЕМПЕРАТУРЕ У ПРОСТОРУ ПИРАЦЕ ДА ОСИГУРУЈЕТЕ да се температурна разлика чува у врло малом опсегу
4. МУЛТИЧКА МУЛТИ-ТОЧКЕ МОНИТОРА ТЕМПЕРТУРА НА МАТЕРИЈАЛУ ДА ОСИГУРУЈЕТЕ да се температурна разлика чува у врло малом распону
Семицорек Планетарни суцептор је премиум решење за реакторе Аиктрон Г5 +, нудећи изванредну топлотну стабилност, хемијску отпорност и прецизни учинак. Инжењерирани за најзахтевније производне процесе полуводича, вози веће приносе од вафла, минимизира ризик за контаминацију и продужава век опреме. Надоградите свој епитаксни систем са врхунским суцептом за неуспоредиве резултате.