Постоје две врсте епитаксије: хомогена и хетерогена. Да би се произвели СиЦ уређаји са специфичним отпором и другим параметрима за различите примене, супстрат мора да испуни услове епитаксије пре него што производња може да почне. Квалитет епитаксије утиче на перформансе уређаја.
ОпширнијеУ производњи полупроводника, јеткање је један од главних корака, заједно са фотолитографијом и таложењем танког филма. То укључује уклањање нежељених материјала са површине облатне хемијским или физичким методама. Овај корак се изводи након наношења премаза, фотолитографије и развијања. Користи се з......
Опширније