Шта је систем пећи за раст кристала

Пећ за раст од једног кристала је високо специјализована опрема која се користи за производњу монокристала без дислокација од поликристалног силицијумског материјала. У окружењу са гасом аргона, пећ користи графитни систем грејања за топљење поликристалног силицијума и узгој монокристалног силицијума помоћу методе Чохралског. Пећ се састоји од шест кључних система који раде у хармонији како би осигурали ефикасан и висококвалитетан раст кристала. Ови системи укључују систем механичког преноса, систем за контролу температуре грејања, вакуумски систем, систем гаса аргона, систем за хлађење воде и електрични контролни систем.

Систем механичког преноса

Механички преносни систем чини основу оперативне способности пећи за раст монокристала. Он је одговоран за контролу кретања и кристала и лончића, укључујући подизање и ротацију кристала за семе и подешавање вертикалног и ротационог положаја лончића. Прецизност у контроли ових параметара је кључна за успех сваке фазе раста кристала, као што су сејање, грлиће, раме, раст једнаког пречника и реп. Тачна контрола положаја, брзине и угла кристала за семе током ових фаза обезбеђује раст кристала у складу са потребним условима процеса. Без овог система, пећ не би могла да изврши фина подешавања потребна за производњу кристала без дефеката.

Систем за контролу температуре грејања

У сржи функционалности пећи је систем контроле температуре грејања, који је одговоран за стварање топлоте потребне за топљење поликристалног силицијума и одржавање стабилне температуре током процеса раста кристала. Овај систем се састоји од компоненти као што су грејач, температурни сензори и јединица за контролу температуре. Грејач, често направљен од графита високе чистоће, генерише топлоту претварањем електричне енергије у топлотну енергију. Када силицијумски материјал достигне жељену температуру и истопи се, температурни сензори континуирано прате флуктуације. Ови сензори шаљу податке у реалном времену контролној јединици, која прилагођава излазну снагу како би одржала прецизну температуру унутар пећи. Одржавање стабилне температуре је критично, јер чак и мање флуктуације могу довести до дефеката кристала или неправилног раста.

Вакуумски систем

Вакум систем је кључан у стварању и одржавању идеалног окружења ниског притиска потребног током раста кристала. Ради тако што уклања ваздух, нечистоће и друге гасове из коморе пећи помоћу вакуум пумпи. Овај процес обезбеђује да пећ ради на притисцима који су обично испод 5 ТОР, спречавајући оксидацију силицијумског материјала током процеса високе температуре. Поред тога, вакуумско окружење помаже у елиминацији свих испарљивих нечистоћа које се ослобађају током раста кристала, што може значајно побољшати чистоћу и укупан квалитет резултујућег монокристала. Вакум систем, дакле, не само да штити силицијум од нежељених реакција већ и побољшава перформансе и поузданост пећи.

Аргон гасни систем

Систем гаса аргона служи две главне сврхе: заштита силицијумског материјала од оксидације и одржавање унутрашњег притиска пећи. Након вакуумског процеса, гас аргон високе чистоће (са нивоом чистоће од 6Н или више) се уводи у комору. Аргон, као инертни гас, ствара заштитну баријеру која спречава да преостали кисеоник или спољни ваздух реагују са растопљеним силицијумом. Поред тога, контролисано увођење аргона помаже у стабилизацији унутрашњег притиска, обезбеђујући оптимално окружење за раст кристала. У неким случајевима, проток гаса аргона такође помаже у уклањању вишка топлоте из растућег кристала, делујући као расхладно средство за побољшање контроле температуре.

Систем воденог хлађења

Систем воденог хлађења је дизајниран да управља топлотом коју стварају различите компоненте високе температуре унутар пећи, као што су грејач, лончић и електроде. Док пећ ради, ове компоненте производе значајну количину топлоте, која, ако се не управља, може изазвати оштећење или деформацију. Систем за хлађење водом циркулише расхладну воду кроз пећ како би распршио вишак топлоте и одржао ове компоненте унутар безбедног опсега радне температуре. Поред продужења животног века компоненти пећи, систем за хлађење игра помоћну улогу у помагању да се регулише температура унутар пећи, чиме се побољшава укупна контрола температуре и тачност.

Електрични контролни систем

Често називан и „мозак“ пећи за раст од једног кристала, електрични контролни систем надгледа рад свих других система. Овај систем прима податке од различитих сензора, укључујући сензоре температуре, притиска и положаја, и користи ове информације за прилагођавање у реалном времену система механичког преноса, грејања, вакуума, гаса аргона и воденог хлађења. На пример, електрични контролни систем може аутоматски да подеси снагу грејања на основу очитавања температуре или да модификује брзину и угао ротације кристала и лончића током различитих фаза процеса раста. Поред тога, систем је опремљен функцијама за откривање кварова и аларма, обезбеђујући да се све неправилности благовремено идентификују и предузимају корективне мере за одржавање безбедног и ефикасног рада.

У закључку, шест главних система пећи за раст једног кристала раде у тандему како би олакшали сложени процес раста кристала. Сваки систем игра виталну улогу у одржавању неопходних услова за производњу висококвалитетних монокристала, осигуравајући да пећ ради ефикасно и безбедно. Било да се ради о контроли температуре, притиска или механичких покрета, сваки систем је од суштинског значаја за укупни успех пећи.

---

Семицорек нудивисококвалитетни графитни деловиза пећи за узгој кристала. Ако имате било каквих питања или су вам потребни додатни детаљи, не устручавајте се да нас контактирате.

Контакт телефон # +86-13567891907

Емаил: салес@семицорек.цом