Како технолошки чворови настављају да се смањују, формирање ултра-плитких спојева представља значајне изазове. Процеси термичког жарења укључујући брзо термичко жарење (РТА) и жарење флеш лампе (ФЛА) су виталне технике које одржавају високе стопе активације нечистоћа док минимизирају дифузију, обезб......
ОпширнијеУ производњи полупроводника, прецизност и стабилност процеса гравирања су најважнији. Један од критичних фактора у постизању висококвалитетног јеткања је осигурање да облатне буду савршено равне на тацни током процеса. Свако одступање може довести до неравномерног бомбардовања јонима, узрокујући неж......
Опширније