Која је функција фокусних прстенова?

Фокусни прстенови су основне компоненте које обезбеђују униформност и стабилност процеса јеткања полупроводника. Кроз прецизну контролу електричних и термичких поља, фокусни прстенови могу концентрисати плазму на површини плочице, обезбеђујући конзистентне резултате јеткања на свим локацијама на плочици.

Функције фокусних прстенова

1. Побољшајте уједначеност гравирања

У процесу гравирања, фокусни прстенови могу концентрисати плазму наваферповршине, која ефективно гарантује уједначену густину плазме, угао бомбардовања јонима и нивое енергије и на ивици иу средишњем делу плочице. Они исправљају дистрибуцију електричног поља на ивици плочице, смањујући брзину нагризања, критичну димензију и варијације морфологије узроковане ефектима ивица, чиме се обезбеђује конзистентност јеткања на целој површини плочице. Ако је прстен за фокусирање прекомерно истрошен или нема фокусног прстена, плазма ће дифундовати са ивице плочице, што ће на крају изазвати неусаглашена одступања у ширини линије између ивице и централног региона.

2. Заштитите електростатичку стезну главу

Фокусни прстенови се обично постављају изван површине носача плочице електростатичких стезних глава, директно изложени плазма бомбардовању и корозији. Ово подешавање служи као физичка баријера која спречава да плазма дође у контакт са електростатичким стезним главама током процеса нагризања, чиме се значајно смањује ризик од оштећења плазме. Фокусни прстенови такође могу спречити нуспроизводе који настају током процеса нагризања да се приањају на електростатичке стезне главе, чиме се избегава деградација перформанси узрокована контаминацијом и зачепљењем стезне главе. Ово у великој мери продужава циклус одржавања и животни век електростатичких стезних глава, смањујући трошкове одржавања и замене опреме.

Фокусни прстенови се обично праве од високе чистоћекварц, силицијумисилицијум карбидаматеријала. Захваљујући одличним свеобухватним перформансама, материјали од силицијум карбида постепено постају главна опција за најсавременије процесе јеткања. Као поуздани добављач полупроводничких фокусних прстена у Кини, Семицорек нуди висок квалитетфокусни прстенови од силицијум карбидаразличитих величина које одговарају различитим захтевима опреме за гравирање. Семицорек поздравља ваше упите и куповине у било ком тренутку.